[实用新型]大靶材真空吸附搬运装置

权利要求书

1.一种大靶材真空吸附搬运装置，其特征在于：包括吸盘支架（1），所述吸盘支架（1）的下面设置有若干个吸盘（2），吸盘（2）通过吸气管（3）连接到真空发生器（4）。

2.根据权利要求1所述的大靶材真空吸附搬运装置，其特征在于：所述吸盘支架（1）下面设置有九个吸盘（2），九个吸盘（2）排成三行三列。

3.根据权利要求1所述的大靶材真空吸附搬运装置，其特征在于：所述吸盘支架（1）的上面固定有钢板（5）。

4.根据权利要求3所述的大靶材真空吸附搬运装置，其特征在于：所述钢板（5）通过螺栓（6）固定在吸盘支架（1）上面。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的大靶材真空吸附搬运装置，其特征在于：所述吸盘支架（1）上设置有导向孔，所述吸盘（2）的上端设置有插在导向孔中的导向杆（7），导向杆（7）伸出吸盘支架（1）上面的一端设置有大于导向孔直径的限位台（8），导向杆（7）在吸盘支架（1）下面的一段上套设有减震弹簧（9），减震弹簧（9）两端顶在吸盘支架（1）下面与吸盘（2）之间。