[实用新型]太赫兹波导腔体滤波器

权利要求书

1.太赫兹波导腔体滤波器，由位于上部的上腔体和位于下部的下腔体层叠构成，所述上腔体封盖在下腔体上并在两者结合处具有镂空结构形成的波导腔，所述波导腔位于下腔体内；其特征在于，所述波导腔包括呈长方体的波导输入段和波导输出段，位于波导输入段和波导输出段之间并且也呈长方体的第一谐振腔、第二谐振腔和第三谐振腔，所述波导输入段与第一谐振腔之间通过第一感性耦合窗串联，所述第一谐振腔与第二谐振腔通过第三感性耦合窗串联，所述第二谐振腔与波导输出段通过第二感性耦合窗串联，所述波导输入段与第三谐振腔之间通过第四感性耦合窗串联，所述第三谐振腔与波导输出段之间通过第五感性耦合窗串联；所述波导输入段、第一感性耦合窗、第一谐振腔、第三感性耦合窗、第二谐振腔、第二感性耦合窗和波导输出段依次串联构成耦合路径一作为主信号通路；所述波导输入段、第四感性耦合窗、第三谐振腔、第五感性耦合窗和波导输出段依次串联构成耦合路径二，用于在通带低端形成一个传输零点；所述第一谐振腔、第二谐振腔和第三谐振腔的中间部位具有用以间隔三个谐振腔、波导输入段和波导输出段的凸台。 

2.根据权利要求1所述的太赫兹波导腔体滤波器，其特征在于，所述波导腔的波导输入段和波导输出段为标准WR2.2矩形波导。 

3.根据权利要求1所述的太赫兹波导腔体滤波器，其特征在于，所述感性耦合窗由位于其两侧的隔墙构成，隔墙的上缘与下腔体的硅质基片表面平齐，隔墙的下缘与下腔体的谐振腔底面平齐。 

4.根据权利要求3所述的太赫兹波导腔体滤波器，其特征在于，所述第一感性耦合窗距离波导输入段的短路端的距离为50±5μm，第二感性耦合窗距离波导输出段的短路端的距离为50±5μm，第三感性耦合窗距离第一谐振腔的第一感性耦合窗端面的距离为140±5μm，第四感性耦合窗贴紧波导输入段的短路端，第五感性耦合窗贴紧波导输出段的短路端。