[实用新型]一种掩模框架及其对应的掩模组件有效
申请号: | 201320094364.1 | 申请日: | 2013-03-01 |
公开(公告)号: | CN203159697U | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;潘世珎;张炜平 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56 |
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地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 框架 及其 对应 模组 | ||
技术领域
本实用新型涉及掩模板制造领域,具体而言,涉及一种掩模框架及其对应的掩模组件。
背景技术
与现行LCD技术相较,利用有机发光二级管(OLED)技术所制成的显示器不仅具有可全彩化、反应时间快、高亮度(100-14,000cd/m2)、高流明效率(16-38lm/W)、170度以上的视角、无一般LCD残影、可制作成大尺寸与可挠曲性面板、能够在摄氏-30度~80度的范围内作业等优势,而且制程简单、整体厚度也能缩小至1mm以下、成本更仅有TFT-LCD的30~40%。因此,利用OLED技术所制成的显示器在深得社会欢迎。
目前,OLED技术所制成的显示器在小尺寸上已经达到量产技术,而且相对较为成熟。但为了通过同时制造多个OLED显示器以实现产量的提高,或者是制造出大尺寸的OLED显示器,就需要增大传统大衬底的尺寸,相应的就必须增大用于蒸镀有机材料的掩模组件的尺寸。
图1所示是传统用于蒸镀有机材料的掩模组件的结构示意图,其包括外框11及通过外框焊点120固定在外框11上的掩模部12,掩模部12是通过在两端施加拉力绷紧后焊接到外框11上,焊接后释放拉力。掩模组件水平放置时,由于掩模部12沿原来拉力反方向回缩导致外框11上下(图1中上下方位)支撑部分出现图中所示内凹现象,从而使得掩模部12出现下垂(特别是掩模部12中间区域),如此造成的后果是蒸镀得到的图案位置精度、尺寸大小相对都会有一定的偏差,从而影响产品的质量及良率。
中国专利申请号为2010101136655公开了一种掩模组件及用于使用该掩模组件的平板显示器的沉积设备,其主要结构在于:掩模组件的外框上设置有横跨外框构成的开口区域的支撑棒,从而减少掩模部的下垂量。中国专利专利号为01138161.2提供了一种用于制造大尺寸显示面板的掩模,其包括:具有多个孔的主框架,自掩模根据要制造的尺寸和图案而装配在主框架的孔内。以上方式在实现OLED显示器量产上有一定的作用,但在制作大尺寸显示屏上具有一定局限。
实用新型内容
有鉴于此,需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本实用新型提供了一种掩模框架及其对应的掩模组件,包括边框、连接机构、强化槽,所述边框为两组对边构成的中空框架结构,所述强化槽为平行于所述对边长度方向的长条通孔且设置在所述对边上,所述对边上有穿过所述长条通孔的孔,所述孔被所述长条通孔截断形成内侧孔和外侧孔,所述外侧孔为通孔,所述连接机构是一端具有直径大于所述外侧孔直径的端部及具有外螺纹的杆部,所述内侧孔有螺纹且与所述杆部连接。
根据本实用新型背景技术中对现有技术所述,在为了通过同时制造多个OLED显示器以实现产量的提高,或者是制造出大尺寸的OLED显示器,就需要增大传统大衬底的尺寸以及用于蒸镀有机材料的掩模组件的尺寸,由此则带来一个掩模板中部下垂的问题,影响产品的最终品质;本实用新型提供的掩模框架通过利用强化槽和连接机构强化的作用下,可以再次将掩模板绷紧以克服下垂问题,解决掩模板中部下垂的问题,保证了大尺寸产品的最终品质。
另外,根据本实用新型公开的掩模框架还具有如下附加技术特征:
进一步地,所述螺纹是密纹螺纹,密纹螺纹可以对所述框架受力情况进行微调,更容易调节和控制。
进一步,所述边框是一体成型结构或由所述对边连接形成的结构。
所述边框一体成型可以保证更高的精度,而由对边联接形成的结构可以让加工更加简便成本更低。
进一步,所述强化槽是与所述对边一体成型形成的结构或是由所述对边的内外侧部件连接形成的结构。
可选地,所述强化槽是至少有一组形成在所述对边上。
强化槽可以只有一组设置在一组对边上,也可以有两组分别设置在两组对边上。
可选地,所述孔是贯穿通孔或所述内侧孔是盲孔。
所述孔可以是贯穿所述对边的通孔;
也可以是所述内侧孔为盲孔的结构,当所述对边为联接结构时,此结构可以更大限度的保证所述框架的整体受力情况和整体精度。
进一步地,所述孔在所述对边上规律排布。
更进一步地,所述孔是中间密集两端稀疏排布或均匀排布或中间稀疏两端密集。
由于所述对边受力情况一般是所述对边中部受力大,所以中间密集两端稀疏排布对力的分布调节更有益处。
进一步地,所述掩模框架包括支撑杆,所述支撑杆与所述对边的内侧连接。
所述支撑杆的上表面可以和所述对边的上表面处于同一平面上,如此可以提供更好的支撑作用。
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