[实用新型]一种制备CIGS薄膜太阳能电池用的激光划刻系统有效
| 申请号： | 201320084490.9 | 申请日： | 2013-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN203184837U | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 丁海;佟鑫 | 申请（专利权）人： | 东旭集团有限公司;成都泰轶斯太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/40 | 分类号： | B23K26/40;B23K26/067;H01L31/18 |
| 代理公司： | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人： | 王苑祥 |
| 地址： | 050000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 cigs 薄膜 太阳能电池 激光 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备CIGS薄膜太阳能电池用的激光划刻系统，系统结构中包括激光器（1），其特征在于：在激光器（1）发射出的激光主光路上增设用于将激光分为透射光束（3）及反射光束（4）的半透半反反射镜（2），在反射光束（4）光路上依次设置第二功率衰减器（4-1）、第一全反反射镜（4-2）、第一快门（4-3）、第一扩束镜（4-4）及第二全反反射镜（4-5）；在透射光束（3）光路上依次设置第三全反反射镜（3-1）、倍频器（3-2）、滤波器（3-3）、第一功率衰减器（3-4）、第四全反反射镜（3-5）、第二快门（3-6）、第二扩束镜（3-7）及第五全反反射镜（3-8），反射光束（4）借助反射光束光路形成的光束a（5）与透射光束（3）借助透射光束光路形成的光束b（6）聚焦形成光斑。
2.根据权利要求1所述的一种制备CIGS薄膜太阳能电池用的激光划刻系统，其特征在于：第二全反反射镜（4-5）是可移动式全反射镜。
3.根据权利要求1所述的一种制备CIGS薄膜太阳能电池用的激光划刻系统，其特征在于：第五全反反射镜（3-8）是可移动式全反射镜。
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