[实用新型]一种晶体生长设备中双向强化气体冷却装置

权利要求书

1.一种晶体生长设备中双向强化气体冷却装置，其包括外炉壳，所述外炉壳内布置有坩埚、隔热笼、顶部加热器、四周加热器，所述坩埚、顶部加热器、四周加热器均位于所述隔热笼所形成的腔体内，所述顶部加热器位于所述坩埚的上方，所述四周加热器分别位于所述坩埚的四周，所述隔热笼开有豁口，所述豁口位置设置有底部活动保温板，其特征在于：所述坩埚的底部支承于气体冷却垫块的上端面，所述气体冷却垫块的内部设计有气路，所述气体冷却垫块的气路外接有两根通气管，两根所述通气管、外部的换热器、气体冷却垫块的气路、增压泵形成闭合循环通路，其中一根所述通气管外接有流量传感器、压力传感器，所述气体冷却垫块位于所述底部活动保温板的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生长设备中双向强化气体冷却装置，其特征在于：所述气体冷却垫块具体为石墨气体冷却垫块。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶体生长设备中双向强化气体冷却装置，其特征在于：两根所述通气管的下端分别连接气体流动换向器后和外部的换热器、增压泵形成循环通路。