[实用新型]真空镀膜设备的真空度量测装置

说明书

技术领域

本实用新型与真空镀膜设备有关，特别是指一种真空镀膜设备的真空度量测装置。

背景技术

简单来说，所谓的真空镀膜是将一待蒸镀物（例如基板）放到一真空腔体内，接着将一蒸镀源加热至汽化升华的状态，使蒸镀源的气体附着至待蒸镀物的表面而形成一层薄膜。

为了在整个制程中确保真空腔体的内部都能维持在真空状态，通常会在真空腔体内设置一真空计，用以量测真空腔体内的真空度，但是因为真空计是长期暴露在蒸镀源的气体中，所以真空计的内部零件很容易遭到腐蚀损坏而时常需要维修，一旦真空计进行维修时会造成整个制程受到延宕，进而连带影响生产效率。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种真空镀膜设备的真空度量测装置，其能延长维修周期及使用寿命，并具有良好的维修便利性。

为了达成上述目的，该真空镀膜设备包含有一真空腔体，该真空腔体具有一贯穿内、外壁面的安装孔，本实用新型真空度量测装置包含有一真空计及一开关阀，该开关阀安装于该真空腔体的安装孔且位于该真空腔体的外壁面，并与该真空计连接在一起，当该开关阀开启时，该真空腔体与该真空计之间经由该开关阀的一通道而相互连通，使该真空计能藉由量测气体的物理性质而换算成压力值，以获得该真空腔体的真空度，当该开关阀关闭时，该真空腔体与该真空计之间互不相通，使该真空计可以减少接触到化学腐蚀气体的机会，以达到延长维修周期及使用寿命且便于维修操作的目的。

附图说明

图1为本实用新型第一较佳实施例的立体分解图。

图2为本实用新型第一较佳实施例的剖视示意图。

图3为本实用新型第二较佳实施例的剖视示意图。

图4类同于图3，主要显示不同的安装位置。

具体实施方式

为了详细说明本实用新型的结构、特征及功效所在，兹列举一较佳实施例并配合下列图式说明如后。

请参阅图1，为本实用新型一较佳实施例所提供的真空度量测装置20，主要使用在一真空镀膜设备，真空镀膜设备包含有一真空腔体10，真空腔体10的内部界定出一腔室12，用以供一待蒸镀物（图中未示）进行镀膜制程，此外，真空腔体10具有一贯穿内、外壁面的安装孔14，使得腔室12能够经由安装孔14与外界相通。请再参阅图1及图2，本实用新型真空度量测装置20设置于真空腔体10的上方，并且包含有一真空计30及一开关阀40。

真空计30在本实施例中为一冷阴极电离真空计，主要是在低压状态下利用放电电流与气体压力之间的关系进行真空度的测量。由于冷阴极电离真空计为现有技术，为了节省篇幅，在此容不赘述其详细结构及工作原理。

开关阀40在本实施例中为一角阀而具有呈90度相位差的一进气端42及一出气端44，并于进气端42与出气端44之间形成一通道46。开关阀40位于真空腔体10的外壁面且藉由进气端42及出气端44分别螺接真空腔体10的安装孔14及真空计30，用以控制真空腔体10与真空计30之间是否能够经由通道46而相互连通。

在镀膜制程开始之前，先将开关阀40打开，使真空腔体10与真空计30之间经由通道46而相互连通，此时的真空计30会藉由量测气体的物理性质而换算成压力值，以确保真空腔体10的内部处于真空状态，如图2所示，接着将开关阀40关闭，使真空腔体10与真空计30之间互不相通，此时就可以开始进行镀膜制程。在整个镀膜制程中，蒸镀源的气体会因为通道46的关闭而无法进入真空计30内，如此便能让真空计30的内部零件减少接触到化学腐蚀气体的机会，以达到延长维修周期及使用寿命的目的。另外在对真空计30进行维修时，只需将开关阀40关闭，即可将真空计30拆下，此过程无需破坏真空腔体10内的固有真空度，以达到维修便利性的目的。

在此需要加以补充说明的是，本实用新型真空度量测装置20可以在真空腔体10的上方设置两组真空计30及两组开关阀40，当其中一组真空计30进行维修时，操作人员还是可以使用另外一组真空计30进行镀膜制程，如图3所示，以避免镀膜制程受到延宕而提升生产效率，而且，本实用新型真空度量测装置20也可以在真空腔体10的上方设置其中一组真空计30及开关阀40，并且在真空腔体10的侧边设置另外一组真空计30及开关阀40，如图4所示，同样可以达到相同的目的。

最后，本实用新型于前揭实施例中所揭露的构成元件，仅为举例说明，并非用来限制本案的保护范围，其它等效元件的替代或变化，亦应为本案申请专利保护范围所涵盖。