[实用新型]压阻式高频动态土应力传感器有效
| 申请号: | 201320069752.4 | 申请日: | 2013-02-06 |
| 公开(公告)号: | CN203216646U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
| 发明(设计)人: | 沈娇艳;唐运海;程新利;王冰;秦长发;潘涛;王文襄 | 申请(专利权)人: | 苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司 |
| 主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18 |
| 代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 范晴 |
| 地址: | 215009 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压阻式 高频 动态 应力 传感器 | ||
1.压阻式高频动态土应力传感器,包括传感器壳体(7)、应力敏感组件、信号调理放大电路(11)和引出电缆(13),其特征在于,所述应力敏感组件包括基底(1)—绝缘隔离层(2)—应变电阻(3)—绝缘保护层(5)构成的结构;且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃(6)封接于传感器壳体(7)前端的固支台阶(18)。
2.根据权利要求1所述的压阻式高频动态土应力传感器,其特征在于,所述基底(1)层为高杨氏模量的不锈钢膜片,所述传感器壳体(7)由高质量日立合金制成,所述应变电阻(3)为半导体应变电阻。
3.根据权利要求1或2所述的压阻式高频动态土应力传感器,其特征在于,所述应变电阻(3)为掺硼P型微晶硅应变电阻。
4.根据权利要求1或2所述的压阻式高频动态土应力传感器,其特征在于,绝缘隔离层(2)和绝缘保护层(5)由二氧化硅绝缘材料制备而成。
5.根据权利要求1所述的压阻式高频动态土应力传感器,其特征在于,所述应力敏感组件还包括设在应变电阻外周的调整电阻。
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