[实用新型]导模法生长多条晶体的生长装置有效
| 申请号： | 201320068936.9 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN203159740U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 黄小卫;秦冒晓;王静;孙晓晓 | 申请（专利权）人： | 元亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214037 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导模法 生长 晶体 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 一种导模法生长多条晶体的生长装置，包括单晶生长炉（1），单晶生长炉（1）的炉腔与抽真空装置（2）连接，单晶生长炉（1）的炉腔底部设有坩埚托座（3），坩埚托座（3）上设置坩埚（4），坩埚（4）的外侧设有四周保温筒（5），四周保温筒（5）的顶部设有上保温罩（6），四周保温筒（5）的底部设有下保温罩（7），在坩埚（4）和四周保温筒（5）的之间设有筒形高温环境提供发热体（8），在上保温罩（6）上设有上生长梯度提供发热体（9），在下保温罩（7）上设有下生长梯度提供发热体（10）；其特征是：在所述坩埚（4）内部固定安装有多组模具（11），每组模具（11）上侧均设有可上下伸缩和旋转的提拉杆（12）。
2.如权利要求1所述的导模法生长多条晶体的生长装置，其特征是：所述筒形高温环境提供发热体（8）、上生长梯度提供发热体（9）、下生长梯度提供发热体（10）均与坩埚（4）同轴设置。
3.如权利要求1所述的导模法生长多条晶体的生长装置，其特征是：所述提拉杆（12）上设有籽晶。
4.如权利要求1所述的导模法生长多条晶体的生长装置，其特征是：所述提拉杆（12）与控制装置（13）连接。
5.如权利要求1所述的导模法生长多条晶体的生长装置，其特征是：所述上生长梯度提供发热体（9）和下生长梯度提供发热体（10）分别位于坩埚（4）的上部和下部。
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