[实用新型]一种约束磨粒流的超精密加工装置

权利要求书

1.一种约束磨粒流的超精密加工装置，其特征在于：包括抛光工具头、供料装置、回收底座和运动执行机构，所述抛光工具头包括喷嘴、护套、安装板、抛光头管座、弹簧和激光位移传感器，所述护套套装在喷嘴的安装台阶上，所述喷嘴与抛光头管座固定连接，所述弹簧套装在喷嘴上并压紧护套，所述护套和喷嘴配合面上开有密封槽，所述护套为由对磨粒磨损不敏感的弹性材料制成的护套，所述喷嘴中心打通孔，所述抛光头管座内设有供磨粒流流入的通道，所述抛光头管座固定在安装板上，所述激光位移传感器固定在抛光头管座的一侧，所述安装板与运动执行机构连接；所述回收底座中心为安装工件的凸台，所述凸台四周有磨粒流回收槽，所述回收槽外围有一圈磨粒流挡板，所述磨粒流挡板高于工件上表面，所述回收槽内有磨粒流回收出口。

2.如权利要求1所述的约束磨粒流的超精密加工装置，其特征在于：所述磨粒流回收出口通过管道与回收泵的进料口连接，所述回收泵的出料口与搅拌装置的进料口接通，所述搅拌装置的出料口与供料泵的进料口连接，所述供料泵的出料孔与抛光工具头上端面的磨料进料孔接通，所述压力表安装在搅拌装置和供料装置的连接气管之间，所述供料泵和回收泵上都有流量调节装置。

3.如权利要求1或2所述的约束磨粒流的超精密加工装置，其特征在于：所述喷嘴上部铣有安装平面，所述抛光头管座四周均布螺纹孔通过螺栓与安装板连接，所述抛光头管座中心有与喷嘴连接的中心螺纹孔，所述抛光头管座从侧面设有管螺纹孔且与中心螺纹孔相通，所述磨粒流供料管与抛光头上的管螺纹孔连接。

4.如权利要求1或2所述的约束磨粒流的超精密加工装置，其特征在于：所述激光位移传感器处于抛光工具头运动方向的前端，所述激光位移传感器与上位机连接，所述上位机与所述运动执行机构连接。