[实用新型]硅片清洗脱胶水池有效
| 申请号： | 201320066515.2 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN203076258U | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 徐良 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213213 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 脱胶 水池 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片清洗脱胶水池，其特征在于：包括用于盛装热水的水池（1）、硅片花篮（2）；
所述硅片花篮（2）包括两块挡板（3）和顶板（10），两块挡板（3）顶部通过顶板（10）连接固定，所述挡板（3）两侧通过栏杆（4）连接，挡板（3）底部通过若干根底杆（5）连接，所述栏杆（4）和若干根底杆（5）构成一盛装硅片的落料腔（6）；
所述水池（1）的池口边铰接有池盖（7），所述池盖（7）中间开有大小与硅片花篮（2）的顶板（10）相同的方孔（8）；
所述顶板（10）可拆卸连接于池盖（7）方孔（8）处。
2.如权利要求1所述的硅片清洗脱胶水池，其特征在于：在水池（1）侧放置有一当池盖（7）翻开后支撑池盖（7）的池盖支架（11）。
3.如权利要求1所述的硅片清洗脱胶水池，其特征在于：所述落料腔（6）的四周内壁均设置有缓冲垫（9）。
4.如权利要求3所述的硅片清洗脱胶水池，其特征在于：所述缓冲垫（9）为海绵。
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