[实用新型]真空炉冷却装置

说明书

技术领域  

本实用新型涉及真空炉加工领域，特别是一种真空炉冷却装置。

背景技术  

真空炉内的光电镀膜材料制备所需的温度很高，通常在1700-1800℃，设备在常态下不可承受如此高温，需对设备进行冷却，原装设备进水及出水均为一根水管，若冷却水中混入异物堵塞设备从单独的出水管无法识别何处发生堵塞，且发生堵塞后需要马上停工检修，造成原材料的浪费。

发明内容  

针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种真空炉冷却装置，可以快速超找冷却系统的故障，且对于单个炉体冷却水管接口的堵塞可以在加工完成后再行检修。

本实用新型的目的是这样实现的：一种真空炉冷却装置，包括炉体，炉体外壁设有水夹套，炉体上端设有炉盖，下端设有炉底，所述的水夹套设有炉体冷却水管，炉盖设有炉盖冷却水管，炉底设有炉底冷却水管。

所述的炉体冷却水管设有至少4个接口。

本实用新型提供的一种光电镀膜材料模压模具，通过将冷却水管分别接至设备的各个冷却部位，从而方便观察循环水冷却情况，对设备各处的清洗也更为方便。由于炉体冷却水管设置有多个接口，对于单个炉体冷却水管接口的堵塞可以在加工完成后再行检修，避免了原材料的损耗。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图中：炉盖1，炉盖冷却水管2，炉体3，水夹套4，炉体冷却水管5，炉底6，炉底冷却水管7。

具体实施方式

如图1中，炉体：采用双层水夹套结构，内层为不锈钢抛光，外层为优质碳钢，上、下法兰组焊成筒型结构，法兰平面开设密封槽。采用“O”圈真空密封，为防止因温度过高“O”圈老化，并设有炉体冷却水管5，开设有抽气、热电偶、红外孔等。优化的方案中，在本例中炉体冷却水管5的接口有4个，即便其中1-2个造成堵塞，也可以等待加工完成后，再行清洗，从而避免了原材料的浪费。

炉盖：采用双层夹层封头结构，设有观察孔，屏蔽、锁紧、开启装置，并通水冷却。炉底：同样采用双层水夹层封头结构，设有电极引出装置，支撑平台等，并设有炉盖冷却水管2，炉盖冷却水管2通过单独的接头接出，由此结构，也简化了整个设备的加工难度。

炉底：同样采用双层水夹层封头结构，设有电极引出装置，支撑平台等，并设有炉底冷却水管7，炉底冷却水管7也通过单独的接头接出，从而简化了冷却水管在炉体内的复杂程度。