[实用新型]台阶仪机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种台阶仪，尤其涉及一种具备实时校准功能的台阶仪机构。

背景技术

台阶仪作为自动化生产线最重要的一种测试工具，以其构造简单、精度高、测试方便而被广泛应用于半导体、生物医学器件、平板显示等高端领域。台阶仪在使用时，在显示装置观察探针探测刻蚀膜层的位置，然后将显示装置中的图像采集装置对应的准星调整至观察到的该探测位置，则认为显示装置的显示的测试点为实际测试点。该调整过程较为主观，误差较大，并且由于台阶仪利用率高，在操作上容易造成仪器失真、测量位置偏移等问题，这就要求在使用过程中要定期对台阶仪进行校准与维护。但是，校准之后很快又会出现偏差失真等现象。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种台阶仪机构，实现了实时校准，方便了测试，进而提高了测试质量。

为达到上述目的，本实用新型提供了一种台阶仪机构，包括计算机控制装置、动力装置、显示装置以及台阶仪；所述计算机控制装置分别与所述动力装置及所述显示装置相连接，所述动力装置与所述台阶仪相连接；所述台阶仪包括支架，所述支架的一端连接所述动力装置，另一端垂直设置有位移传感器，所述位移传感器下端设置有调节基板，所述调节基板的下端设置有图像采集装置、发光装置以及探针，所述图像采集装置以及所述发光装置可移动地设置在所述调节基板上，所述台阶仪机构还包括感应薄膜，所述感应薄膜具有叠设的用于获得所述发光装置对所述感应薄膜的照射位置的光线传感膜以及用于获得所述探针与所述感应薄膜的接触位置的触摸传感膜。

优选地，所述调节基板的底部设置有滑道，所述图像采集装置以及所述发光装置可移动地设置在所述滑道内。

优选地，所述计算机控制装置通过调节机构实时地调节所述图像采集装置以及所述发光装置的位置或角度。

优选地，所述调节机构为齿轮传动机构或蜗轮蜗杆传动机构。

优选地，所述滑道包括分别呈横向布置以及纵向布置的两条滑道，其中一条滑道可以在另一条滑道上移动。

优选地，所述滑道为鱼骨状，鱼骨状的所述滑道的数量为一个。

优选地，所述光线传感膜设置在所述触摸传感膜的上方或下方。

优选地，所述动力装置为电动机。

优选地，所述位移传感器为差动变压器式位移传感器。

优选地，所述发光装置为激光发射装置。

与现有技术相比，本实用新型的台阶仪机构，其结构简单，操作方便，通过增设的发光装置能够实现实时校准，提高了测试质量。

附图说明

图1为本实用新型的台阶仪机构的部分示意图；

图2为本实用新型的台阶仪机构的显示示意图。

附图标记说明：

10显示装置          20台阶仪

21支架              22位移传感器

23调节基板          24图像采集装置

25发光装置          26探针

30待测试基板        40感应薄膜

50实际接触区域      60光束入射区域

D1水平移动                 D2垂直移动

具体实施方式

有关本实用新型的技术内容及详细说明，现结合附图说明如下。

如图1所示，本实用新型提供了一种台阶仪机构，包括计算机控制装置(未示出)、动力装置(未示出)、显示装置10以及台阶仪20；计算机控制装置分别与动力装置及显示装置10相连接，动力装置与台阶仪20相连接；其中，台阶仪包括支架21；支架21的一端连接动力装置，另一端垂直设置有位移传感器22，位移传感器22例如为差动变压器式位移传感器，位移传感器22下端设置有调节基板23，调节基板23的下端设置有图像采集装置24、发光装置25以及探针26，其中，图像采集装置24以及发光装置25可移动地设置在调节基板23上；台阶仪机构还包括感应薄膜40，感应薄膜40具有叠设的用于获得发光装置25对感应薄膜40的照射位置的光线传感膜以及用于获得探针26与感应薄膜40的接触位置的触摸传感膜。