[实用新型]一种新型双层结构的石英舟有效
申请号: | 201320043298.5 | 申请日: | 2013-01-28 |
公开(公告)号: | CN203013698U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 朱良新 | 申请(专利权)人: | 浙江波力胜新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 周涌贺 |
地址: | 323000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 双层 结构 石英 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种用于太阳能电池生产的石英舟载具,特别是涉及太阳能电池生产中氧化扩散工艺用的新型双层结构的石英舟。
背景技术
目前,太阳能电池是一种现今大规模使用的清洁能源。在太阳能电池的制造生产过程中,提高太阳能的转换效率,增加单体时间内的产能,及降低制造成本是该领域内的重点。
由于现有技术中的石英舟,其支撑架上的硅片均是竖直放置,受硅片的大小的限制,如果是摆放两层硅片的支撑架,则会导致上层硅片的摆放高度过高,因此目前的石英舟只能摆放一层硅片。
实用新型内容
本实用新型要解决上述现有技术的缺点,提供一种新型双层结构的石英舟,可摆放两层硅片,增大了硅片的放置空间。
本实用新型解决其技术问题采用的技术方案:这种新型双层结构的石英舟,包括卡槽棒和支撑卡槽棒的支撑架,其中卡槽棒上设有固定硅片的卡槽,支撑架为上下两层结构,各个支撑架均设有底部卡槽棒和侧边卡槽棒,其中底部卡槽棒和侧边卡槽棒上的卡槽为相对应的倾斜结构。这样将卡槽设计成倾斜结构,降低了硅片的摆放高度,因此可将石英舟设计成两层结构,增加了硅片的摆放数量,更有效地利用空间。
其中卡槽倾斜角度为20°~40°。在这个角度范围内的倾斜角度,特别是30°,硅片的摆放高度为竖直摆放的二分之一,即时将石英舟设计两层结构,与硅片竖直摆放的一层结构的高度相差不多。
其中支撑架包括上支撑架和下支撑架,位于上支撑架上的卡槽棒长于位于下支撑架的卡槽棒。这样两支撑架的结构独立,摆放下层硅片时可以将上支撑架移开,而且上支撑架较长,两层叠加在一起时,上支撑架位于下支撑架的外端方向。
本实用新型有益的效果是:本实用新型结构设计新颖,将石英舟设计呈两层结构,增加了硅片的摆放数量,从而提升了石英舟的使用空间,有利于广泛使用。
附图说明
图1为本实用新型的左视图;
图2为本实用新型的主视图;
图3为本实用新型的俯视图。
附图标记说明:卡槽棒1,底部卡槽棒1-1,侧边卡槽棒1-2,支撑架2,上支撑架2-1,下支撑架2-2,卡槽3。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
参照附图:这种新型双层结构的石英舟,包括卡槽棒1和支撑卡槽棒1的支撑架2,其中卡槽棒1上设有固定硅片的卡槽3,其特征是:其中支撑架2为上下两层结构,各个支撑架2均设有底部卡槽棒1-1和侧边卡槽棒1-2,其中底部卡槽棒1-1和侧边卡槽棒1-2上的卡槽3为相对应的倾斜结构。其中卡槽3倾斜角度为20°~40°。所述支撑架2包括上支撑架2-1和下支撑架2-2,位于上支撑架2-1上的卡槽棒1长于位于下支撑架2-2的卡槽棒1。本实用新型结构设计新颖,将石英舟设计呈两层结构,增加了硅片的摆放数量,从而提升了石英舟的使用空间,有利于广泛使用。
虽然本实用新型已通过参考优选的实施例进行了图示和描述,但是,本专业普通技术人员应当了解,在权利要求书的范围内,可作形式和细节上的各种各样变化。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造