[实用新型]调焦调平测量系统中镜片轴向调整装置有效
申请号: | 201320043178.5 | 申请日: | 2013-01-25 |
公开(公告)号: | CN203069860U | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 吴树福;章富平;陈飞彪;王海江;程海林;唐平玉 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调焦 测量 系统 镜片 轴向 调整 装置 | ||
1.一种镜片轴向调整装置,其特征在于,包括支撑筒、设置在支撑筒端面的光阑、设置在支撑筒内的至少一个镜筒组、设置在支撑筒侧壁控制和锁定镜筒组轴向运动的调整机构和用于径向固定镜筒组的支撑块,所述支撑块设置在支撑筒内,镜筒组嵌在支撑块内并可在其中进行轴向滑动。
2.根据权利要求1所述一种镜片轴向调整装置,其特征在于,所述支撑块为圆柱型,其包括柱体和沿柱体圆周分布上下贯通的轴向滑道,所述轴向滑道与调整机构和镜筒组在支撑筒内的部分相配合。
3.根据权利要求2所述一种镜片轴向调整装置,其特征在于,所述支撑块还包括用于连接光阑的上销孔和用于连接支撑筒的下销孔。
4.根据权利要求1所述一种镜片轴向调整装置,其特征在于,所述镜筒组包括沿轴向上下对应设置的至少一个小镜筒,一个小镜筒通过一个独立的调整机构控制。
5.根据权利要求4所述一种镜片轴向调整装置,其特征在于,所述小镜筒包括圆柱型镜座、镜片和压圈,所述镜座中间开有通光孔并带有台阶,镜片放在台阶上,压圈压在镜片上。
6.根据权利要求1所述一种镜片轴向调整装置,其特征在于,所述调整机构包括沿轴向从上到下固定在支撑筒外侧壁的上固定块和下固定块、连接上固定块和下固定块之间的导向柱、穿过导向柱可在上固定块和下固定块之间移动的活动块、连接上固定块和活动块的弹簧、设置在下固定块上的微分头以及与活动块联动的连接杆,微分头的顶端与活动块接触,连接杆的一端与小镜筒固定连接,另一端从活动块伸出。
7.根据权利要求6所述一种镜片轴向调整装置,其特征在于,所述调整机构还包括与连接杆联动的内固定块,所述内固定块设置在支撑筒的内壁且与活 动块内外对应。
8.根据权利要求7所述一种镜片轴向调整装置,其特征在于,所述支撑块为圆柱型,其包括柱体和沿柱体圆周分布上下贯通的轴向滑道,所述轴向滑道包括与内固定块相配合的方槽、与连接杆相配合的薄层槽和与镜筒组相配合的通孔。
9.根据权利要求6所述一种镜片轴向调整装置,其特征在于,所述调整机构还包括锁紧螺母,所述锁紧螺母与连接杆伸出活动块的一端通过螺纹连接。
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