[实用新型]光纤阵列定位组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光纤阵列定位组件，属于光纤通信中的无源器件技术领域。

背景技术

为加速我国信息社会建设，三大运营商及广电系统都加大了对FTTX（光纤接入网）和三网融合（语音网、数据网、有线电视网）建设的投入。但由于接入成本、核心技术等因数，至今进展还比较缓慢，尚未得到大规模推广与发展。运营商们极力降低成本，而光纤阵列分路器是FTTX中的核心器件，占总体成本的一大部分。作为光纤阵列里面的关键器件之一的固定光纤用的组件成本及精度在推广过程中也显得非常重要。

目前的主流产品固定光纤用的组件的一种生产方法为机械切割法，生产出的固定光纤用的组件通常称V槽，材质为石英或玻璃。该类产品对切割设备的要求非常高，目前只有进口机床才能满足要求，前期设备投入较大。由于V槽是由金刚刀切割而成，因为固有的累积机械误差，通道数越多，误差越大，精度越低，从而导致更高的成本。

另外一种固定光纤用的组件的生产方法是采用半导体光刻技术，生产出的固定光纤用的组件通常称U形槽。通过微加工方法加工石英或玻璃晶圆而成的U型槽，此类产品采用光刻技术来确定其初始图形，且所有通道为同时加工成型，不存在机械切割时的累积误差，在加工大通道组件时，能保证定位精度。使用该方法加工的U形槽，分为干法和湿法刻（腐）蚀两种。

干法刻蚀采用比较昂贵的反应离子干法刻蚀，该方法能保证极高的精度及均匀性，但单片加工时间长，且费用高。

湿法腐蚀采用贵重金属(如金/铬薄膜结构)作为工艺材料，但该工艺与成熟的集成电路生产线不能兼容（金会沾污CMOS生产线），只能实行手动工艺加工，且每批次加工的片数有限，贵金属材料较贵，因而成本还是非常高，且生产效率较低，不利于大规模生产。除此之外，用该方法生产的U形槽，因为槽侧壁与基板上表面的夹角小于90度（由其特殊的薄膜结构特性决定），意味着槽侧壁的坡度比较小，比较平滑；这会导致在排纤时，裸纤容易滚动，甚至相邻的光纤相互错位，增加了排纤的难度，降低了生产效率。加上其掩膜特性的限制，目前U形槽深度有限，光纤底部与U形槽底部的距离较小；在点胶时，UV胶水很容易出现气泡或流动性差等问题，影响可靠性及生产效率。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种低成本、高精度、均匀性好、生产效率高且与现有半导体生产线相兼容，可大规模生产，更加适于实用的光纤阵列定位组件。

本实用新型的技术方案是：

一种光纤阵列定位组件，包括基板，基板包括前后两个区域，前端区域为裸光纤定位固定区域，含有均匀分布的U形槽，相邻的两个U形槽之间由宽度均匀相等的脊背间隔，脊背的宽度在10-18um之间，U形槽的侧壁与基板上表面的交接处为脊背的棱，U形槽的侧壁与基板上表面垂直；

后端区域为整体往下凹陷的平台阶，用来固定带塑料包层光纤，所述平台阶距离基板上表面的凹陷深度为200-350um，平台阶与前端U形槽区域紧密连接，之间无任何隔断。

U形槽的数量为8的整倍数。

基板材料为石英或玻璃。

U形槽的开口宽度小于裸光纤的直径，U形槽的深度大于光纤置于槽内部分圆弧的高度。