[实用新型]深紫外光清洗设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种应用在太阳能电池生产、集成电路生产、LED生产、TFT生产等领域的清洗设备，尤其是一种深紫外光清洗设备。

背景技术

目前，从太阳能电池生产中， 有机物以及化学清洗后酸液残留在电池片表面无法处理，严重影响电池片的各项性能；在集成电路、LED、TFT等生产过程中，同样存在此类问题。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种能够实现对电池片表面改质、防止PID衰减并提高电池片的转换效率的深紫外光清洗设备。

按照本实用新型提供的技术方案，所述深紫外光清洗设备，它包括上腔体与下腔体，在上腔体内固定设有深紫外光光源，深紫外光光源具有反射灯罩，在上腔体的底板内嵌装有透镜，透镜的位置与深紫外光光源的位置对应；在下腔体的侧壁板之间转动架设有滚动轴，滚动轴由电机驱动，在对应透镜正下方位置的滚动轴上固定有左右两个支撑轮，在下腔体上开设有抽风口。

所述的抽风口开设在下腔体的底板上。

本实用新型通过深紫外光光源产生的电子能量，将待清洗物品表面杂质去除并形成氧化保护膜，实现了对电池片表面改质，防止了PID衰减并提高了电池片的转换效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。

该深紫外光清洗设备，它包括上腔体7与下腔体8，在上腔体7内固定设有深紫外光光源2，深紫外光光源2具有反射灯罩1，在上腔体7的底板内嵌装有透镜3，透镜3的位置与深紫外光光源2的位置对应；在下腔体8的侧壁板之间转动架设有滚动轴4，滚动轴4由电机5驱动，在对应透镜3正下方位置的滚动轴4上固定有左右两个支撑轮9，在下腔体8上开设有抽风口6。

所述的抽风口6开设在下腔体8的底板上。

待清洗物品架设在支撑轮9上，在电机5和滚动轴4的带动下，平稳进入深紫外光光源2有效照射区域，物品表面杂质化学键在光源提供的电子能量作用下断开并由抽风口6的排风带走；并同时形成氧化保护膜，实现对物品表面进行清洗和改质的效果。

为有效使用该深紫外光光源2，需要对光进行全反射并获得良好的均匀性，因此需要配置反射灯罩1。

为有效保护该深紫外光光源2不受待清洗物品表面杂质的沾污并尽量避免光损失，因此需要配置透光率性能良好的高透镜3。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。