[实用新型]太阳能电池硅片的化学表面处理装置有效
| 申请号: | 201320029787.5 | 申请日: | 2013-01-21 |
| 公开(公告)号: | CN203055970U | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
| 发明(设计)人: | 盛遵冰;黄云辉;卢小武;居建华 | 申请(专利权)人: | 无锡思锐电子设备科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
| 地址: | 214072 江苏省无锡市滨湖区蠡园开发区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 太阳能电池 硅片 化学 表面 处理 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种化学表面处理装置,尤其是一种太阳能电池硅片的化学表面处理装置。
背景技术
当电力、煤炭、石油等不可再生能源频频告急,能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈时,越来越多的国家开始实行“阳光计划”,开发太阳能资源,寻求经济发展的新动力。欧洲一些高水平的核研究机构也开始转向可再生能源。在国际光伏市场巨大潜力的推动下,各国的太阳能电池制造业争相投入巨资,扩大生产,以争一席之地。
太阳能电池生产中有需要对电池硅片单一表面的化学处理步骤,而目前都是通过调整化学液的表面张力而达到加工一面,同时不浸润另外一面。但此种技术化学液消耗量大,且在电池硅片有稍微翘曲的情况下,无法进行正常加工。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种结构简单、能实现只对单一表面进行处理而不受其翘曲度的影响的太阳能电池硅片的化学表面处理装置。
按照本实用新型提供的技术方案,所述太阳能电池硅片的化学表面处理装置,它包括工作槽、储液罐、流量计、回收泵与加液阀,在工作槽的相对两槽壁之间转动架设有若干滚轴,在滚轴上固定有滚轮,在工作槽设有喷头,储液罐的出液口与喷头的进液口之间通过进液管道相连,在进液管道上设有流量计,在工作槽上开设有回液出口,在储液罐上设有回液进口,在工作槽的回液出口与储液罐的回液进口之间通过回液管道相连,在回液管道上设有回收泵,在储液罐上连接有加液管,在加液管上设有加液阀。
所述喷头为扁平状,喷头的液体喷出口位于喷头的顶端部,喷头的液体进口位于喷头的底端部,且喷头的宽度从下往上呈逐渐增大设置。
所述储液罐的罐底板高度位于工作槽的槽底板之上,储液罐的出液口开设在储液罐的罐底板上。
本实用新型具有以下优点:
1、避免化学液成分的频繁调整而导致的化学液浪费以及人力;
2、有效改善电池硅片翘曲度的影响;
3、节约了化学液的消耗,降低生产成本;
4、本实用新型简单可靠,维修方便。
附图说明
图1是本实用新型的主视图。
图2是本实用新型中工作槽的左视图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。
该太阳能电池硅片的化学表面处理装置,它包括工作槽2、储液罐8、流量计5、回收泵6与加液阀7,在工作槽2的相对两槽壁之间转动架设有若干滚轴3,在滚轴3上固定有滚轮4,在工作槽2设有喷头1,储液罐8的出液口与喷头1的进液口之间通过进液管道相连,在进液管道上设有流量计5,在工作槽2上开设有回液出口,在储液罐8上设有回液进口,在工作槽2的回液出口与储液罐8的回液进口之间通过回液管道相连,在回液管道上设有回收泵6,在储液罐8上连接有加液管,在加液管上设有加液阀7。
所述喷头1为扁平状,喷头1的液体喷出口位于喷头1的顶端部,喷头1的液体进口位于喷头1的底端部,且喷头1的宽度从下往上呈逐渐增大设置。
所述储液罐8的罐底板高度位于工作槽2的槽底板之上,储液罐8的出液口开设在储液罐8的罐底板上。
由储液罐8在重力作用下,把化学液体均匀地由喷头1顶端部溢出,浸润工件表面。
当然,本实用新型还可有其它多种实施例,在不背离本专利精神及其实质的情况下,熟悉本领域的技术人员可根据本专利作出各种相应的改变和变形,但这些相应的改变和变形都应属于本专利所附的权利要求的保护范围。
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