[实用新型]一种标准气体配制装置

权利要求书

1.一种标准气体配制装置，其特征是，它包括配气主管路(a)、产品气管路、组分气管路(d)和稀释气管路，所述产品气管路、组分气管路(d)和稀释气管路并联在配气主管路(a)上，所述配气主管路(a)上还并联一组压力表管路、压力传感器管路、放空管路(i)、抽真空管路(h)、真空检测管路(j)和安全泄压管路(p)。

2.根据权利要求1所述的一种标准气体配制装置，其特征是，所述产品气管路包括第一产品气支路(b)和第二产品气支路(c)，在第一产品气支路(b)上设置第一手动压力控制阀(F1)，在第二产品气支路(c)上设置第二手动压力控制阀(F2)，在第一产品气支路(b)和第二产品气支路(c)的末端分别配置产品气气瓶(3)。

3.根据权利要求2所述的一种标准气体配制装置，其特征是，所述组分气管路(d)上串联连接第三手动压力控制阀(F3)和第一单向阀(F15)，在组分气管路(d)末端配置组分气气瓶(4)。

4.根据权利要求3所述的一种标准气体配制装置，其特征是，所述稀释气管路包括第一稀释气支路(e)、第二稀释气支路(f)和第三稀释气支路(g)，所述第一稀释气支路(e)上串联连接第四手动压力控制阀(F4)和第二单向阀(F16)，所述第二稀释气支路(f)上串联连接第五手动压力控制阀(F5)和第三单向阀(F17)，所述第三稀释气支路(g)上串联连接第六手动压力控制阀(F6)和第四单向阀(F18)，在第一稀释气支路(e)、第二稀释气支路(f)和第三稀释气支路(g)末端分别配置稀释气气瓶(5)。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种标准气体配制装置，其特征是，所述压力表管路包括高量程压力表支路(o)、中量程压力表支路(m)和低量程压力表支路(l)，所述高量程压力表支路(o)上串联第七手动压力控制阀(F7)，在高量程压力表支路(o)末端设置高量程压力表(A3)，所述中量程压力表支路(m)上串联第九手动压力控制阀(F9)，在中量程压力表支路(m)末端设置中量程压力表(A2)，所述低量程压力表支路(l)上串联第十手动压力控制阀(F10)，在低量程压力表支路(l)末端设置低量程压力表(A1)。

6.根据权利要求5所述的一种标准气体配制装置，其特征是，所述压力传感器管路包括高压压力传感器支路（n）和低压压力传感器支路(k)，所述高压压力传感器支路(n)上串联第八手动压力控制阀(F8)，在高压压力传感器支路(n)末端设置高压压力传感器(6)，所述低压压力传感器支路(k)上串联第十一手动压力控制阀(F11)，在低压压力传感器支路(k)末端设置低压压力传感器(7)。

7.根据权利要求6所述的一种标准气体配制装置，其特征是，所述放空管路 (i)上串联第十三手动压力控制阀(F13)，在放空管路(i)末端设置放空排气口(8)。

8.根据权利要求7所述的一种标准气体配制装置，其特征是，所述抽真空管路(h)与真空机组(2)连接，在抽真空管路(h)上串联第十四手动压力控制阀(F14)和真空仪(1)。

9.根据权利要求8所述的一种标准气体配制装置，其特征是，所述真空检测管路 (j)上串联第十二手动压力控制阀(F12)，在真空检测管路(j)末端设置真空表(B)。

10.根据权利要求9所述的一种标准气体配制装置，其特征是，所述安全泄压管路(p)上串联截止阀(F19)，在安全泄压管路(p)末端设置安全泄压阀(F0)。