[实用新型]一种对心封装的石英挠性加速度传感器

权利要求书

1.一种对心封装的石英挠性加速度传感器，包括表头和集成电路，所述表头和所述集成电路通过连接线连接，其特征在于：

所述集成电路包括：电路和电路盖，所述电路盖由第一电路盖和第二电路盖组成，所述第二电路盖上设置有孔，所述第一电路盖的形状和所述第二电路盖上设置的孔的形状对应，所述第一电路盖固定盖合所述第二电路盖设置的孔；

所述第二电路盖固定在所述表头上；

所述表头包括：壳体和表芯，所述表芯设置在所述壳体中，

所述集成电路封装在所述表头的壳体中。

2.如权利要求1所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：

所述第一电路盖和所述第二电路盖通过激光焊接方式固定。

3.如权利要求1所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：

所述第一电路盖和所述第二电路盖在同一平面上。

4.如权利要求1所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：

所述第一电路盖和所述第二电路盖同轴固定。

5.如权利要求1所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：

所述表头和所述第二电路盖连接通过激光焊接方式固定。

6.如权利要求1所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：

所述第一电路盖和所述第二电路盖上设置的孔大小一致。

7.如权利要求1所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：

所述表芯包括检测质量摆组件、电磁力矩器、差动电容传感器、伺服电路；

所述检测质量摆组件与所述电磁力矩器连接，所述电磁力矩器固定在所述壳体上；

所述伺服电路与所述差动电容传感器连接。

8.如权利要求7所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：

所述检测质量摆组件包括摆片、线圈、磁钢，所述摆片包括极板、外环、挠性平桥；

所述极板与所述外环之间通过所述挠性平桥连接；

所述磁钢穿过所述线圈，所述极板的一端设置在所述差动电容传感器中间位置，所述极板的外环与所述电磁力矩器连接，所述伺服电路还与所述线圈连接。