[实用新型]高纯混合气自动配制装置

权利要求书

一种高纯混合气自动配制装置，其特征在于：包括气体检测通道（4）、分别与PLC控制器（6）连接的混配器（2）、缓冲罐（3）和分析仪（5），及若干过滤器（1）；所述混配器（2）、缓冲罐（3）、气体检测通道（4）、分析仪（5）依次连接；所述混配器（2）的输入端与两个过滤器（1）连接。

2、根据权利要求1所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述混配器（2）与气体检测通道（4）之间还设置有一条混合气回收管道（c）。

3、根据权利要求1或2所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述混配器（2）包括第一气体通道（a）、第二气体通道（b）、混合阀和电磁阀，所述第一气体通道（a）和第二气体通道（b）的输入端各连接有一个过滤器（1），第一气体通道（a）和第二气体通道（b）的输出端均与混合阀连接；所述电磁阀的一端与混合阀连接，另一端与缓冲罐（3）连接；所述混合气回收管道（c）的输出端与第一气体通道（a）的输出端连接。

4、根据权利要求1或2所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述气体检测通道（4）包括混合气通道（f）及依次连接在一起的三通电磁阀、压力调节阀和过滤器（1）；所述混合气通道（f）的输入端与缓冲罐（3）连接，其输出端分别与混合气回收管道（c）的输入端和三通电磁阀连接。

5、根据权利要求4所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述气体检测通道（4）还包括一条标气通道（d），其输出端与三通电磁阀的输入端连接。

6、根据权利要求1、2或5所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：该自动配制装置还包括一个报警单元（7），所述报警单元（7）与PLC控制器（6）连接。

7、根据权利要求6所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述报警单元（7）为一蜂鸣器或声光报警器。