[实用新型]一种用于双面精磨抛光机床的水平调整机构

说明书

技术领域

本实用新型属于一种机械设备机构，主要用于加工各种光学元件、陶瓷元件的双面精磨抛光机床的水平调整机构。也可用于类似机床的水平调整机构。

背景技术

在光电行业中，大量的较大晶体基片和光学平板需要进行平面的精磨和抛光加工。随着科学技术的不断发展，光电行业中面板和基片的面积要求越来越大，厚度要求越来越薄，平面度、表面粗糙度及两平面之间的平行度要求越来越高，这就对一些高精度的平面加工设备提出了新的要求。现有的光学平面双面精磨和抛光加工设备，多数采用下磨削盘为主动转动盘，上磨削盘为从动转动的加工方法。加工过程中，上磨削盘由自重加压、气缸施加正压或负压。其基本结构有两种:第一种，上盘与主轴之间采用两个精密推力球轴承联接，加工时，由于上下磨削盘之间存在平行度误差，支承的横梁受钢性的影响，也会使上下磨削盘之间产生一定的夹角，样，磨削好的光学元件的平行度要求就难以保证，在磨削过程中，设备还会产生一定的振动。第二种，上盘与主轴之间采用一个精密调心球轴承联接，加工时，由于上磨削盘存在一定的崴动，磨削好的光学元件的平行度要求存在一定误差，完工零件两平面之间的平行度一般在0.01μm，对于薄形零件，还会有一定的翘曲度难以削除。这两种结构的双面精磨抛光机床均存在技术精度难以保证，生产效率低下，不适应大批量生产的需求。

发明内容

本实用新型的主要任务和目的是，根据现有双面精磨抛光机床在生产中存在的缺陷，设计一种新的上磨削盘水平调整机构，该机构配备机床使用，可使所加工的光学元件从根本上消除技术指标不符合要求的现象，达到保障技术质量，提高生产效率，适应大批量生产的需求。

本实用新型的主要技术方案：水平调整机构由支架、上轴承座、主轴箱、传动齿轮、密封圈压环、外定位套、内定位套、螺钉、调节支承盘、调节螺套、分油盘、下轴承座、静压轴承盘、上磨削盘、双列向心球面轴承、螺母、调节螺杆、缓冲弹簧、旋转四氟Y型密封圈、主轴、管子、液压油、橡胶骨架油封、双列向心球面滚子轴承、定位轴及压紧螺母组成，具体结构：A、外定位套装入主轴箱内，在下端用螺钉固紧，外定位套与内定位套配合，配合面之间构成精密回转液压轴系，两端面用旋转四氟Y型密封圈密封，分别用外密封圈压环对上端和下端进行固定，防止工作时液压油溢出，以保证密封腔内油压稳定，主轴装入内定位套孔内，主轴的上部装配有传动齿轮，再装配上轴承座，上轴承座下端装有橡胶骨架油封，上轴承座内装有双列向心球面滚子轴承，双列向心球面滚子轴承的内孔与主轴相配合，主轴的上端，同轴安装一个定位轴，通过螺钉固定在上轴承座上，定位轴穿过支架用螺母固紧，支架通过螺钉固定在主轴箱上，主轴与内定位套的孔配合，配合面之间构成液体静压柱形滑轨，两端用旋转四氟Y型密封圈密封，用密封圈压环固定，防止工作时液压油溢出，以保证密封腔内的油压稳定，在外定位套6的端头到内定位套下端之间安装一个缓冲弹簧；B、调节支承盘与内定位套通过螺钉连接，调节螺套通过螺钉装在调节支承盘上，三根均布的调节螺杆同螺母与调节支承盘、调节螺套配合连接，在主轴的下端，安装一个压紧螺母、下轴承座，下轴承座内配合安装一个双列向心球面轴承，下轴承座与连接盘螺钉连接，连接盘上通过螺钉固定连接一个分油盘，连接盘依次与静压轴承盘、上磨削盘固定连接为一体。

本实用新型通过实际应用证明：完全达到设计目的，由于消除了上下磨削盘之间的平行度误差，上下磨削盘可以根椐各种不同的工件、各个加工阶段的加工工艺要求形成不同的相对运动，从而有效地提高了完工零件的平面度、表面粗糙度及两平面的平行度，表面粗糙度Ra值达到了4n m，两平面平行度或翘曲度达到了0.003μm。同时生产效率得到明显提高。

附图说明

下面结合附图，对本实用新型作进一步详细地描述。

图１，是本实用新型的装配结构示意图。

图２，是本实用新型在晶体双面抛光机床上应用的实例示意图。

具体实施方式

参照图１，对本实用新型的主要技术方案进行说明：本实用新型由支架1、上轴承座2、主轴箱3、传动齿轮4、密封圈压环5、外定位套6、内定位套7、螺钉8、调节支承盘9、调节螺套10、分油盘11、下轴承座12、静压轴承盘13、上磨削盘14、双列向心球面轴承15、螺母16、调节螺杆17、缓冲弹簧18、旋转四氟Y型密封圈19、主轴20、管子21、液压油22、橡胶骨架油封23、双列向心球面滚子轴承24、定位轴25及压紧螺母26等组成。其具体结构：