[实用新型]一种压阻式三向加速度传感器

说明书

技术领域

本实用新型属于电子通信技术领域，特别是指一种加速度传感器，尤其是涉及一种压阻式三向加速度传感器。

背景技术

压阻式传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的测量和控制。目前，压阻式三向加速度传感器还为数不多，并且多采用钣金结构来固定内部的电路板及传感器芯片，因为钣金加工的通用精度基本在0.5毫米左右，而且结构单薄，刚性较差，从而导致产品没有较高的检测频率及较好的检测精度。而金加工产品的精度则较高，可以保证到0.1毫米以内，并且采用不锈钢材料整体金加工，则可以在保证精度的前提下，又能提高结构的刚度和屏蔽性。目前国内市场上的三轴向静态响应加速度传感器主要是电容式的，存在的主要缺点：本底噪声普遍较大，造成传感器分辨率较差，市面上的三轴向静态响应加速度传感器的本底噪声基本上在几个mVrms的级别，而我们的三轴向静态响应加速度传感器的本底噪声控制在0.1mVrms左右，相差了几十倍；有的传感器可能本底噪声与我们的差不多，但是传感器的频率响应范围却比较低，普遍都在100Hz以内，而我们的传感器可以达到250Hz。国际市场上的三轴向静态响应加速度传感器只有少数几个厂家有生产，但是价格非常高，而且供货周期很长。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题，提出了一种采用不锈钢材料整体金加工可以保证较高的刚度，从而提高共振频率，使产品具有较大的检测范围，同时还可保证良好的屏蔽性，从而降低传感器本底噪声，使传感器有更好的分辨率，传感器三个面有安装孔，且传感器内置了强力磁铁的压阻式三向加速度传感器。

为达到上述目的，本实用新型采用了下列技术方案：一种压阻式三向加速度传感器，包括带有螺纹孔的底板，所述底板上面设有凹槽，用于内嵌磁钢板，使磁钢板上表面与底板上表面平；同时底板在同一个方向通过螺钉依次与带有通孔的衬板及电路板连接；电路板配合上下端分别设有上质量块和下质量块；电路板上还分别设有竖直设置且相互垂直的传感器芯片一和传感器芯片二；所述的电路板上水平方向还设有传感器芯片三，底板上方设有能够与其形成空腔的盖板。

在上述的一种压阻式三向加速度传感器中，所述的底板和盖板分别为整块不锈钢材料金加工制成，保证传感器结构较高的刚度和屏蔽性能。

在上述的一种压阻式三向加速度传感器中，所述的盖板上面中间设有能够粘贴带有相关信息贴膜的凹槽。

在上述的一种压阻式三向加速度传感器中，所述的衬板采用胶木板制造。

在上述的一种压阻式三向加速度传感器中，所述的电路板上还设有方孔。

在上述的一种压阻式三向加速度传感器中，所述的上质量块和下质量块分别设置在方孔的上下方，且均通过凸台与方孔配合。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：采用的压阻式三向加速度传感器结构，在满足传感器频率从0Hz开始检测的基础上，能保证传感器芯片对于传感器结构的良好的垂直度和平行度，从而使该产品具有良好的检测灵敏度，特别是在X方向和Y方向上的灵敏度相对优越于其它结构的压阻式三向加速度传感器。内置磁钢结构，可以方便传感器的固定，主体采用不锈钢结构并采用高精度的金加工，保证了传感器较高的刚度和屏蔽性，从而使产品具有较高的共振频率和良好的检测性能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的爆炸图。

图2为本实用新型的组合图

图中，1.底板，2.磁钢板，3.衬板，4.下质量块，5.电路板，6.传感器芯片三，7.传感器芯片二，8.上质量块，9.传感器芯片一，10.盖板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。