[实用新型]一种EBR挡板有效
| 申请号： | 201320017864.5 | 申请日： | 2013-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN203037997U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李玉华 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ebr 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.一种EBR挡板，其特征在于：包括一板体（1）和设于所述板体（1）同一侧面的至少一条导流槽（2）。
2.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于：所述的板体（1）侧面底部设有一条导流槽（2）。
3.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于：所述的导流槽（2）横截面为U字型或V字形。
4.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于：所述的导流槽（2）纵切面为“一”字型或“人”字型。
5.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于：所述的EBR挡板由氟塑料制成。
6.根据权利要求1所述的EBR挡板，其特征在于：在所述的板体（1）设有导流槽（2）的一面设有吸附材料。
7.一种EBR清洗装置，包括溶剂喷嘴（01）、支架（02）和权利要求1~6任一项所述的EBR挡板（03），所述的EBR挡板（03）倾斜安装在支架（02）上。
8.根据权利要求7所述的EBR清洗装置，其特征在于：所述的EBR挡板（03）倾斜30度安装在支架（02）上。
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