[实用新型]一种精抽泵机组及具有其的精抽系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及抽真空技术领域，更具体地说，涉及一种精抽泵机组及具有其的精抽系统。

背景技术

需要真空环境时，通常采用真空泵进行抽真空。对于一些真空度要求较高的场合，通常采用罗茨真空泵。例如，在充氦检漏系统中，精抽真空过程采用罗茨真空泵来完成。由于罗茨真空泵的特性，罗茨真空泵不能单独使用，需配上前级泵串联组成机组，以降低罗茨真空泵的排出压力。

目前，由罗茨真空泵组成精抽泵机组有两种方案：

第一种方案采用单级旋片真空泵12为前级泵，即单级旋片真空泵12与罗茨真空泵11进行串联组合，如图1所示。由于单级旋片真空泵12抽速较大，所以整个精抽泵机组的抽速会较大，生产效率较高。但是，在潮湿工况下，即连续在潮湿的环境中抽真空，亲水膜较易附着水蒸气，空气含水份较重，在抽空过程中水蒸气持续进入单级旋片真空泵12并与油混合，导致单级旋片真空泵12的油乳化，抽空能力下降，导致无法正常抽空到工艺要求。

第二种方案采用双级旋片真空泵22为前级泵，即双级旋片真空泵22与罗茨真空泵21进行串联组合，如图2所示。由于双级旋片真空泵22不会受水蒸气的影响，且其真空度较低，则该精抽泵机组的真空度也较低，能够满足工艺要求。但是，由于双级旋片真空泵22的抽速比较小，则整个精抽泵机组的抽速较低，导致生产效率较低。

有上述两种方案可知，在潮湿工况下，现有的精抽泵机组不能同时具有较低的真空度和较高的抽速。

综上所述，如何提供一种精抽泵机组，以避免水蒸气对其真空度的影响，同时提高该精抽泵机组的抽速，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种精抽泵机组，以避免水蒸气对其真空度的影响，同时提高该精抽泵机组的抽速。本实用新型的目的是提供一种具有上述精抽泵机组的精抽系统。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种精抽泵机组，包括罗茨真空泵，和与罗茨真空泵串联的前级泵；其中，前级泵包括单级旋片真空泵和与单级旋片真空泵并联的双级旋片真空泵。

优选的，上述精抽泵机组中，所述单级旋片真空泵的数目为一个，所述双级旋片真空泵的数目为一个。

基于上述提供的精抽泵机组，本实用新型还提供了一种精抽系统，该精抽系统包括待抽真空的待抽部件，和与所述待抽部件相连通的精抽泵机组；其中，该精抽泵机组为上述任意一项所述的精抽泵机组。

优选的，上述精抽系统中，所述待抽部件为蒸发器。

优选的，上述精抽系统中，所述待抽部件为冷凝器。

本实用新型提供的精抽泵机组，在潮湿工况下，最初单级旋片真空泵抽速较大，随着受水蒸气的影响，单级旋片真空泵的抽真空能力逐渐下降，由于双级旋片真空泵不受水蒸气的影响，此时双级旋片真空泵发挥主要作用，从而避免了水蒸气对整个精抽泵机组的真空度的影响；同时，由于双级旋片真空泵与单级旋片真空泵并联，则整个精抽泵机组的抽速为双级旋片真空泵的抽速与单级旋片真空泵的抽速的代数和，很显然，提高了整个精抽泵机组的抽速。故本实用新型提供的精抽泵机组，避免了水蒸气对其真空度的影响，同时提高了该精抽泵机组的抽速。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的精抽泵机组的一种结构框图；

图2为现有技术提供的精抽泵机组的另一种结构框图；

图3为本实用新型实施例提供的精抽泵机组的结构框图。

上图1-3中：

罗茨真空泵11、单级旋片真空泵12、罗茨真空泵21、双级旋片真空泵22、罗茨真空泵31、单级旋片真空泵32、双级旋片真空泵33。

具体实施方式

本实用新型实施例提供了一种精抽泵机组，避免了水蒸气对其真空度的影响，同时提高了该精抽泵机组的抽速。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考附图3，图3为本实用新型实施例提供的精抽泵机组的结构框图。