[实用新型]基于相变作用力的金属微驱动器及驱动装置有效
| 申请号： | 201320012152.4 | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN203006933U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 史斌;张冬仙;章海军;伊福廷;王波 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 相变 作用力 金属 驱动器 驱动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于相变作用力的金属微驱动器, 其特征在于，金属微驱动器（6）包括微驱动器主体（1）、金属毛细棒（2）、转动轴（3）、充液腔（4）、底座（5）；微驱动器主体（1）侧面均匀开有6个充液腔（4），充液腔（4）中心线偏离微驱动器中心距离为L，每个充液腔（4）内有2根金属毛细棒（2）连接在微驱动器主体（1）上；微驱动器主体（1）通过下方的转动轴（3）安装在底座（5）上。
2.一种利用如权利要求1所述的金属微驱动器的驱动装置，其特征在于，它包括：微驱动器（6）、液体（7）、样品池（8）、二维可调样品台（9）、照明光源（10）、半透半反镜（11）、聚焦透镜（12）、激光（13）、激光器（14）、Z向可调平台（15）、显微镜物镜（16）、显微镜镜筒（17）、监控CCD（18）；微驱动器（6）放置在液体（7）和样品池（8）中，样品池（8）置于二维可调样品台（9）上；照明光源（10）位于二维可调样品台（9）下方；激光器（14）置于Z向可调平台（15）上，发出的激光（13）经过聚焦透镜（12）会聚，再经过半透半反镜（11）反射后聚焦到微驱动器（6）上表面；半透半反镜（11）位于显微镜物镜（16）下方，显微镜物镜（16）和监控CCD（18）分别连接显微镜镜筒（17）两端。
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