[实用新型]一种压电谐振器

权利要求书

1.一种压电谐振器，包括工作区，所述的工作区由压电薄膜层及形成于所述的压电薄膜层的上表面上的上金属电极和形成于所述的压电薄膜层的下表面上的下金属电极组成，其特征在于所述的压电薄膜层由等高度的一个中心方柱压电体和多个边长各不相同的中空方柱状压电体组成，小边长的所述的中空方柱状压电体同轴位于大边长的所述的中空方柱状压电体内，所述的中心方柱压电体同轴位于具有最小边长的所述的中空方柱状压电体内。

2.根据权利要求1所述的一种压电谐振器，其特征在于所述的中心方柱压电体为实心的方柱状压电体或为空心的方柱状压电体。

3.根据权利要求1或2所述的一种压电谐振器，其特征在于所述的中空方柱状压电体的壁厚与所述的中空方柱状压电体的高度之比为（0.5～1.5）：1。

4.根据权利要求3所述的一种压电谐振器，其特征在于所述的中心方柱压电体和所述的中空方柱状压电体的高度均为0.5～4μm。

5.根据权利要求4所述的一种压电谐振器，其特征在于相邻两个所述的中空方柱状压电体之间的间隙的宽度为0.2～0.5μm，具有最小边长的所述的中空方柱状压电体与所述的中心方柱压电体之间的间隙的宽度为0.2～0.5μm。

6.根据权利要求5所述的一种压电谐振器，其特征在于所述的间隙由空气或非压电材料填充。

7.根据权利要求6所述的一种压电谐振器，其特征在于具有最大边长的所述的中空方柱状压电体的对称两外壁之间的距离为50μm～200μm。

8.根据权利要求7所述的一种压电谐振器，其特征在于该压电谐振器还包括衬底层和设置于所述的衬底层与所述的工作区之间的支持层，所述的衬底层沿高度方向延伸至所述的支持层的下表面开设有空气间隙，所述的空气间隙使所述的支持层的下表面与空气直接接触，并将声波能量限制在所述的工作区内。

9.根据权利要求7所述的一种压电谐振器，其特征在于该压电谐振器还包括衬底层和设置于所述的衬底层与所述的工作区之间的支持层，所述的衬底层的顶端开设有空气隙，所述的空气隙使所述的支持层的下表面与空气直接接触，并将声波能量限制在所述的工作区内。

10.根据权利要求7所述的一种压电谐振器，其特征在于该压电谐振器还包括衬底层和设置于所述的衬底层与所述的工作区之间且用于将声波能量限制在所述的工作区内的布拉格声波反射层，所述的布拉格声波反射层由多个厚度为四分之一声波波长的高阻抗层和多个厚度为四分之一声波波长的低阻抗层交替叠合而成。