[实用新型]三氯氢硅合成炉

权利要求书

1.三氯氢硅合成炉，包括三氯氢硅合成炉本体（1），该三氯氢硅合成炉本体（1）的下部为氯气进气分布段，该氯气进气分布段设置有与该氯气进气分布段的内腔连通的氯气进气管（4），该氯气进气分布段的顶部安装有分布筛板（2），该分布筛板（2）上设置有若干个通孔，在所述分布筛板（2）上安装有与所述分布筛板（2）上的通孔数目一致的喷头（3），该喷头（3）的下端安装在所述分布筛板（2）的通孔中，所述喷头（3）内部设置有与所述氯气进气分布段内腔连通的空腔，该喷头（3）的侧壁上设置有连通该喷头（3）空腔与所述分布筛板（2）上方的三氯氢硅合成炉本体（1）内腔的喷孔（5），其特征在于，所述喷孔（5）朝向所述分布筛板（2）。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成炉，其特征在于，所述喷孔（5）与所述喷头（3）的中轴线成60°夹角。

3.根据权利要求2所述的三氯氢硅合成炉，其特征在于，每个所述喷头（3）上的喷孔（5）的数目都为4个，同一喷头（3）上的4个喷孔（5）均布在同一圆周上。

4.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成炉，其特征在于，所述氯气进气分布段的内腔中还安装有与所述氯气进气管（4）连通的氯气进气分布管（6），该氯气进气分布管（6）沿所述氯气进气分布段的横截面的直径方向设置，在该氯气进气分布管（6）的管壁上设置有两排水平方向贯通的通孔，每排通孔包括四个通孔，每排通孔中内侧的两个通孔分别与第一半圆形弯管（7）的两端连接，每排通孔中外侧的两个通孔分别与第二半圆形弯管（8）的两端连接，两根第一半圆形弯管（7）和两根第二半圆形弯管（8）都与所述分布筛板（2）平行，所述第一半圆形弯管（7）和第二半圆形弯管（8）的管壁上都设置有两排与弯管走向一致的开孔（9），该两排开孔（9）都朝向所述氯气进气分布段内腔的底部。

5.根据权利要求1或2或3所述的三氯氢硅合成炉，其特征在于，所述喷头（3）的材料为合金结构钢。