[发明专利]一种电子回旋共振离子源在审
| 申请号： | 201310755704.5 | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103715054A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 吴联顺 | 申请（专利权）人： | 青岛永通电梯工程有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子 回旋 共振 离子源 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子回旋离子源，其由微波系统、冷却系统、微波窗口、放电腔、导出系统、磁体和进气管组成，其特征在于，微波系统由微波功率源、磁控管基座、环形器、注水负载、三销钉调谐器、定向耦合器、隔离波导和过渡波导组成，其为离子源提供微波场，磁体由多个分离的永磁环构成，放电腔由透明的石英玻璃制成，放电腔被设置在微波屏蔽壳内，微波屏蔽壳具有多个观察窗口，微波窗口由一片厚度为20mm的陶瓷片和三片厚度为5mm的氮化硼构成，微波屏蔽壳为由铝制成的外方内圆的结构，其上具有多个孔，分别用于微波窗的安装、冷却系统的进出水、观察窗以及离子束的引出。
2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述磁体由6个分离的永磁环构成，所述观察窗的大小为30mm×30mm。
3.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述磁体由4个分离的永磁环构成，永磁环之间有3个宽度为6mm的空隙。
4.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述磁体由5个分离的永磁环构成，所述放电腔的外径为60mm，内径为50mm，为离子产生区。
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