[发明专利]立式氧化炉炉体半自动装卸装置

说明书

技术领域

本发明涉及硅片加工技术领域，特别涉及一种立式氧化炉炉体半自动装卸装置。

背景技术

半导体扩散设备是集成电路制造的重要工艺设备，是一种要求能长时间连续工作，具有优异的控温精度及良好的可靠性、稳定性的自动控制设备，适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。目前立式氧化炉设备在设备安装初期或进行维护时，炉体的安装或拆卸大多因安装空间有限，炉体重量大等原因花费较多的人力和时间。通常设备厂商大都随设备配备相应的炉体装卸附件，用以辅助炉体的安装或拆卸。现有的炉体装卸附件大都结构、功能相对简单，实现调整动作较少，现场安调依旧需要较多人员共同协助才能完成炉体的安装或拆卸，且部分厂商设备在炉体安装前通常使用叉车或其他设备先将炉体放置到装卸附件上或是在拆卸时需要再用叉车或其他设备将炉体从装卸附件中取下，炉体装卸附不能通过装卸附件一次性完成所有的安装拆卸动作，还需借助其他设备，同样还是需要花费现场人员较多的体力和时间。

因此，有必要提出一种能够简化立式氧化炉炉体安装拆卸动作的炉体装卸装置。

发明内容

本发明的主要目的旨在提供一种结构优化的立式氧化炉炉体半自动装卸装置，以实现安装或拆卸炉体动作简单化。

为达成上述目的，本发明提供一种立式氧化炉炉体的装卸装置，包括主体框架，运输定位机构，驱动传动机构，升降链轮，升降链条以及承载机构。主体框架包括两个垂直设置的立柱；运输定位机构设于所述主体框架底部，以使所述主体框架水平移动或静止定位；驱动传动机构设置于所述主体框架的顶部；两个升降链轮由所述驱动传动机构驱动转动；两条升降链条分别绕接于所述驱动链轮；承载机构包括升降托板及叉板，所述升降托板两侧分别与所述两条升降链条的一端固定连接且与所述立柱滑动连接，以随所述升降链条的运动沿着所述立柱上升或下降；所述叉板具有垂直部分和水平部分，所述水平部分用于承载所述立式氧化炉炉体；所述垂直部分扣合于所述升降托板，由所述升降托板的运动带动上升或下降。

优选地，所述驱动传动机构包括驱动元件和传动元件，所述传动元件包括主动链轮、传动链条、传动链轮以及传动轴；所述主动链轮安装于所述驱动元件的输出轴上，通过所述传动链条与所述传动链轮连接；所述传动链轮与所述两个升降链轮同轴安装于所述传动轴上，通过所述传动轴带动所述两个升降链轮转动。

优选地，所述驱动元件包括电机和减速机；所述减速机的输入端与所述电机相连，输出端上安装所述主动链轮。

优选地，所述立柱具有凹槽形截面。

优选地，所述升降托板两侧具有弯折部，所述弯折部上对称安装有多个导向滚轮，所述导向滚轮嵌设于所述立柱的凹槽并在其中上升或下降。

优选地，所述装卸装置还包括配重机构，其安装于所述两条升降链条的另一端。

优选地，所述配重机构包括：水平连杆，其两端分别通过连接杆与所述两条升降链条的另一端固定连接；两个配重块，分别与所述水平连杆的两端固定连接。

优选地，每一所述配重块上安装有两个导向轮，所述导向轮贴合于所述立柱的内外壁，并沿着贴合表面竖直运动。

优选地，所述叉板的数量为大于1个且所述叉板之间的距离可调。

优选地，所述运输定位机构包括使所述主体框架水平移动的脚轮以及可伸缩的支撑脚，所述支撑脚伸出时限制所述主体框架水平移动。

优选地，所述主体框架为L形，其包括水平底部及两个垂直设置的所述立柱，所述水平底部位于所述叉板的水平部分的下方。

优选地，所述脚轮包括前脚轮和后脚轮，所述主体框架的水平底部的前端中设有两个所述前脚轮，所述两个立柱下方靠近所述水平底部后端设有两个所述后脚轮。

优选地，所述电机由交流市电供电并根据控制信号运作。

本发明所提出的立式氧化炉炉体的装卸装置，通过运输定位机构能够实现炉体的水平运输，通过升降链轮、链条及承载机构可以将炉体从地面托起不需要借助叉车之类的其他设备进行过渡，从而实现了集运输与升降功能于一体，以单一装置完成炉体所有装卸动作。此外，该装置借助驱动传动机构实现省时省力，使现场安调人员彻底从繁重的体力劳动中解脱出来。

附图说明

图1为本发明立式氧化炉炉体的装卸装置的结构示意图；

图2为本发明立式氧化炉炉体的装卸装置的驱动传动机构及传动机构的结构示意图；

图3为本发明立式氧化炉炉体的装卸装置的运输机构及承载机构的结构示意图；

图4和图5为本发明立式氧化炉炉体的装卸装置的配重机构的结构示意图；