[发明专利]一种VDMOS的 PN结用染色溶液及其使用方法在审
| 申请号： | 201310750599.6 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104745195A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 宋耀德 | 申请（专利权）人： | 苏州同冠微电子有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;H01L21/02 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 vdmos pn 染色 溶液 及其 使用方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种VDMOS的PN结用染色溶液，其特征在于：所述染色溶液的含有硝酸和BOE两种组分，质量比为：硝酸：BOE=1：12～18；所述BOE为NH4F：HF按1：6的质量比混合而成的溶液，NH4F的质量浓度是40%，HF的质量浓度为49%。
2.根据权利要求1所述的VDMOS的PN结用染色溶液，其特征在于：硝酸：BOE=1：16。
3.根据权利要求1或2所述的VDMOS的PN结用染色溶液，其特征在于：所述硝酸的质量浓度为98%。
4.一种采用如权利要求1～3任一所述的VDMOS的PN结用染色溶液的使用方法，其特征在于：将VDMOS芯片浸泡在所述染色溶液中3～8秒。
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