[发明专利]新型硅片清洗液有效
申请号: | 201310747719.7 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN103695190A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | C11D1/66 | 分类号: | C11D1/66;C11D3/60;C11D3/30;C11D3/20;C11D3/04;C11D3/382 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 新型 硅片 清洗 | ||
技术领域
本发明涉及一种清洗液,特别涉及一种新型硅片清洗液。
背景技术
随着社会的发展,能源危机日益严重的今天,开发利用新能源已经越来越收到人们的关注,太阳能由于器无污染、可再生、无地域性等优点,越来越受到人们的青睐,太阳能产业也来越得以发展。而伴随太阳能光伏产业的成熟,硅片的使用也越来越多。
清洗最为硅片的一个生产工序之一,清洗的好坏程度对硅片的使用性能有着很大的影响。清洗的主要目的是为了清洗掉切割过程中产生的沙粒,残留的切削磨料、金属离子及指纹等,使硅片表面达到无腐蚀、无氧化、无残留等技术指标。传统的硅片清洗,由于各个方法不一样,采用的清洗液也不一样。现有技术中的清洗液清洗效果较差,对于硅片表面的污渍难以做到更好的去除,降低了硅片的使用效果。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能将硅片清洗干净,使用简单的新型清洗液。
为了解决上述技术问题,本发明新型硅片清洗液,由表面活性剂20-50份、三羟乙基胺7-12份、乙醇7-13份、丙二醇3-9份、氟化铵7-10份、柑橘油3-6份、水 20-33份组成,以重量份数计。
上述新型硅片清洗液,其中,由表面活性剂27份、三羟乙基胺8份、乙醇11份、丙二醇7份、氟化铵9份、柑橘油2.5份、水 31份组成。
上述新型硅片清洗液,其中,所述表面活性剂为非离子表面活性剂。
上述新型硅片清洗液,其中,所述表面活性剂为单硬脂酸甘油酯。
上述新型硅片清洗液,其中,所述水为去离子水。
本发明可有效提高对硅片的清洁程度,配方简单易于操作,对环境无不利影响,去污力强,提高了硅片的清洗速度与耐用性能,有利于提高硅片清洗的清洁率,使硅片清洁率率达到99.9%。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
实施例一
新型硅片清洗液,将单硬脂酸甘油酯27份、三羟乙基胺8份、乙醇11份、丙二醇7份、氟化铵9份、柑橘油2.5份、水 31份组成。以重量份数计,将上述原料以120r/min的速度下,搅拌15 分钟。
性能指标:清洗硅片1000片,清洗洁净程度达到99.9%
实施例二
新型硅片清洗液,将单硬脂酸甘油酯38份、三羟乙基胺10份、乙醇7份、丙二醇5份、氟化铵8份、柑橘油5份、水 22份组成。以重量份数计,将上述原料以120r/min的速度下,搅拌15 分钟。
性能指标:清洗硅片1000片,清洗洁净程度达到99.1%
实施例三
新型硅片清洗液,将单硬脂酸甘油酯41份、三羟乙基胺7份、乙醇7份、丙二醇4份、氟化铵7份、柑橘油4份、水28份组成。以重量份数计,将上述原料以120r/min的速度下,搅拌15 分钟。
性能指标:清洗硅片1000片,清洗洁净程度达到99.9%
本发明可有效提高对硅片的清洁程度,配方简单易于操作,对环境无不利影响,去污力强,提高了硅片的清洗速度与耐用性能,有利于提高硅片清洗的清洁率,使硅片清洁率率达到99.9%。
本技术领域中的普通技术人员应当认识到,以上的实施例仅是用来说明本 发明的目的,而并非用作对本发明的限定,只要在本发明的实质范围内,对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求的范围内。
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