[发明专利]蚀刻液循环处理系统及方法

权利要求书

1.蚀刻液循环处理系统，其特征在于：它包括蚀刻台、蚀刻缸、沉淀池、废液储缸、电解池、再生混合池和主控中心，蚀刻缸的出口通过管道与沉淀池的入口相连；所述沉淀池为斜流式沉淀池，沉淀池内设有三个沉淀分池，第一级沉淀分池的出口与第二级沉淀分池的入口相连，第二级沉淀分池的出口与第三级沉淀分池的入口相连，每个沉淀分池的出口处均设有过滤网；沉淀池的出口通过管道与废液储缸的入口相连，废液储缸的出口通过管道与电解池的入口相连；所述的电解池中间设有将电解池分为阴极区和阳极区的电解隔膜，阴极区内设有负电极，阳极区内设有正电极；电解池内的正电极和负电极还与主控中心相连，电解池的出口通过过滤网和射流器与再生混合池相连，再生混合池的出口通过管道与蚀刻缸的入口相连；再生混合池、废液储缸、沉淀池、电解池和蚀刻缸内均设有液面高度传感器、浓度检测器、温度传感器和PH值检测器，液面高度传感器、浓度检测器、温度传感器和PH值检测器分别通过总线与主控中心相连。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液循环处理系统，其特征在于：它还包括有溢流槽，溢流槽的入口通过除渣泵与蚀刻缸相连，溢流槽的出口通过管道与电解池的入口相连。

3.根据权利要求1所述的蚀刻液循环处理系统，其特征在于：所述的主控中心包括有监控主机，监控主机分别通过控制总线与蚀刻缸阀门、沉淀池阀门、废液储缸阀门、溢流槽阀门、电解池阀门以及再生混合池阀门相连。

4.根据权利要求1所述的蚀刻液循环处理系统，其特征在于：它还包括有报警装置，报警装置通过总线与监控主机相连。

5.蚀刻液循环处理方法，其特征在于：它包括有以下步骤：

S1：废液产生，蚀刻台蚀刻后的废液随着管道流入沉淀池，蚀刻缸溢流出的废液随着管道流向溢流槽；

S2：沉淀，废液在第一级沉淀分池内，固体杂质和金属络合物沉入池底，液体通过第一级沉淀分池的过滤网流向第二级沉淀分池，废液在第二级沉淀分池沉淀后，通过第二级沉淀分池的过滤网流向第三级沉淀分池，废液在第三级沉淀分池沉淀后，通过第三级沉淀分池的过滤网流向废液储缸；

S3：废液调整，在废液储缸内添加酸性溶液，使废液的PH值为2～4，废液的温度为20～35℃，废液中铜离子的浓度为20～60g/l；

S4：电解，电解时电解液的流量为0.8～1.5m³/h，电解池中阴极电流密度范围为100～2000A/m³，电解池中阳极电流密度范围为10～200 A/m³，电解后的溶液经过滤网过滤后，送入射流器；

S5：再生利用，射流器将电解后的溶液射流到再生混合池中，经过再生混合池的沉淀和过滤，送入蚀刻缸中进行循环利用。

6.根据权利要求5所述的蚀刻液循环处理方法，其特征在于：它还包括有数据采集和数据监控的方法：

S6：PH值检测器、温度传感器、浓度检测器和液面高度传感器将采集到的数据传递给主控中心，主控中心通过数据分析得出废液的温度、铜离子浓度、PH值以及废液在池中的液面高度；

S7：若采集到的数据与设定的数据范围有偏差，则通过显示屏显示出数据偏差，并报警，工作人员通过显示屏显示的数据偏差进行相应调整。