[发明专利]一种生长三价铈离子掺杂硅酸钇镥闪烁晶体的方法有效
申请号: | 201310746047.8 | 申请日: | 2013-12-30 |
公开(公告)号: | CN103849933A | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | 沈思情;刘浦锋;肖型奎;宋洪伟;陈猛 | 申请(专利权)人: | 上海超硅半导体有限公司 |
主分类号: | C30B29/34 | 分类号: | C30B29/34;C30B15/00;C30B33/02 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 201604 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生长 三价铈 离子 掺杂 硅酸 闪烁 晶体 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种提拉法拉制Ce3+掺杂硅酸钇镥晶体的工艺方法,属于晶体生长和电子控制技术领域。
背景技术
无机闪烁晶体由于对高能射线(X射线、γ射线等)的吸收能力强、探测效率高以及抗辐射硬度高,被广泛地应用于各种放射线探测领域,如核医学、核物理、安全检查、极端条件应用以及工业无损探伤等。材料体系主要包括Bi4Ge3O12(BGO)、PbWO4(PWO)、CsI(TI)、NaI(TI)、BaF2、Lu2SiO5(LSO)和硅酸钇镥(LYSO)等。
硅酸钇镥(LYSO)闪烁晶体被认为是综合性能最好的无机闪烁晶体材料,其有效原子序数为64,密度为7.1g/cm3,光输出可达38000Mev,其光产额是BGO单晶的4~5倍,铊掺杂NaI(TI)的75%,发光时间衰减仅为40ns,远优于NaI(TI)的230ns、BGO的300ns和CsI(TI)的700ns。它最大的应用领域是整个大生命学科所使用的PET(正电子发射计算机断层成像装置)。对于一台PET/CT来说,PET是最重要的部分,尤其是PET探测器中的闪烁晶体,是评价关键指标之一,直接决定着PET的性能。为此,西门子、飞利浦、GE公司三大巨头的PET/CT经历了从碘化钠晶体(NaI(TI))向锗酸铋晶体(BGO),再向硅酸镥晶体(LSO)或硅酸钇镥晶体(LYSO)的更替。
近十几年来,LYSO晶体的制备方法已经取得了巨大的进展,已发展出了提拉法、坩埚下降法、激光加热底座法(LHPG法)和浮区法等行之有效的制备方法。与其他方法相比,提拉法具有以下优点:在生长过程中,可方便地观察晶体生长状况;晶体在熔体表面生长,不与坩埚接触,能有效地减小晶体应力,防止坩埚壁的寄生成核;可以方便地运用定向籽晶,提高晶体的完整性;可以方便地根据晶体生长需要设计合理的生长系统,精确而稳定的控制温度。从LYSO的物理化学性质来看,其结构属于单斜晶系,在不同方向上存在较大的各向异性,各向的膨胀系数不一样,高质量大尺寸的LYSO晶 体制备困难,制备成本高。此外,Ce在熔体中的分凝系数小,也限制了其在大尺寸LYSO晶体中的均匀分布,易发生样品开裂和杂相的出现。况且LYSO晶体属于含氧酸盐,存在氧空位、氧缺陷的问题,再加上Ce离子存在Ce3+和Ce4+两种形式,氧含量的不同,Ce3+和Ce4+所占比例就不同,而在LYSO体系中,Ce4+价不发光,只有Ce3+发光,所以氧含量对晶体的发光强度起着至关重要的作用。氧的含量没有控制好,晶体容易出现开裂现象,也容易出现晶体变黄和衰减猝灭现象。采用提拉法能有效地实现上述条件的控制,从而较易地获得高质量的晶体。
在目前有关LSO/LYSO闪烁晶体的报道的专利和文献中,而且大多被国外垄断(主要是西门子、飞利浦和GE公司),在氧含量控制上的专利更是屈指可数,如CN200580006294.8报道了采用高温氧扩散来补充氧,但不能精确控制,只能通过目测晶体颜色来判断,晶体生长时间长,温度高,通过目测的方式控制氧含量,这方面有待进一步改进;又如CN201110417562.2报道了将已经制备的晶体放入高温炉中在中性气氛下退火,可使得晶体颜色由黄色变透明或无色,这不仅使得工艺复杂,增加成本,而且在前面长晶过程中没有严格控制好氧含量,也存在增加了晶体开裂的风险。
本发明拟在已有技术的基础上,针对氧含量控制的问题,尤其是使用了特别改进的晶体炉,可在晶体生长前期进行高温氧扩散,补充氧含量,减少氧缺陷;在晶体生长后期充入还原性气体或中性气体对晶体还原,能有效的平衡氧含量,获得高质量的LYSO晶体,而且成功率大增,目前国内LYSO晶体存在的重要问题是晶体成品率不高,易开裂。
发明内容
本发明的目的是提供一种生长Ce3+掺杂硅酸钇镥闪烁晶体的方法,为了达到发明的目的首先使用了结构更简单的适用于LYSO单晶生长的长晶炉,在使用中可实现高温氧扩散和还原性气氛下实行原位退火,不仅能保证晶体的质量,而且相对于现已公开的专利,本发明解决了晶体生长过程中易开裂、易变黄的问题,从而提高了LYSO晶体的发光强度,简化了工艺步骤,有效降低了成本。
本发明的技术解决方案如下:
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