[发明专利]一种晶片挑选装置有效
申请号: | 201310745029.8 | 申请日: | 2013-12-30 |
公开(公告)号: | CN103700609B | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 徐丹 | 申请(专利权)人: | 徐丹 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 225300 江苏省泰州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 挑选 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种晶片挑选装置,应用于晶片加工领域。
背景技术
硅片挑选过程中,一般用托盘进行晶片挑选,由于加工后的晶片厚度薄、体积小,因此需要在托盘上覆盖黑色布料或者黑皮,以方便进行晶片挑选。由于布料或者黑皮容易产生细屑,从而对晶片表明造成污染,影响电子元件的正常工作。
近来有一种晶片挑选装置,包括挑选平台,所述的挑选平台安装在一支架上,且该挑选平台采用深色玻璃制作而成,该装置结构过于简单,分选晶片后需要手动将晶片归类,比较麻烦,浪费时间和人力。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对以上弊端提供一种安全的晶片挑选装置,大大节约了人工和成本。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:
一种晶片挑选装置,包括基座,所述基座截面形状为U形结构,所述基座下方设有两个一字型的支撑脚,所述基座的中部向上设有挑选平台,其中,所述挑选平台的截面形状为等腰梯形,所述挑选平台左右两端的基座上分别设有成品传送凹槽和废品传送凹槽,所述成品传送凹槽内设有成品传送皮带,所述成品传送皮带的右侧驱动轮上通过轴承固定有第一从动轮,所述废品传送凹槽内设有废品传送皮带,所述废品传送皮带的左侧驱动轮上通过轴承固定有第二从动轮,所述成品传送凹槽和废品传送凹槽的外侧分别设有成品接受口和废品接收口,所述支撑脚之间设有支撑板,所述支撑板上设有主动轮,第三从动轮,第四从动轮和第五从动轮,所述主动轮与电机相连接,所述第一从动轮与第三从动轮啮合,第三从动轮再与主动轮啮合,主动轮再与第四从动轮啮合,第四从动轮再与第五从动轮啮合,第五从动轮再与第二从动轮啮合。
上述一种晶片挑选装置,其中,所述成品接受口下设有晶片收集装置(CN201220729763.6),所述废品接收口设有废品收集箱。
上述一种晶片挑选装置,其中,所述的挑选平台上铺设一层黑色玻璃,所述的黑色玻璃下表面贴有一层玻璃贴纸。
上述一种晶片挑选装置,其中,所述成品传送皮带与废品传送皮带上包覆一层缓冲层。
本发明的有益效果为:
工作人员挑选晶片时,将待挑选的晶片放置在晶片挑选平台上,开机电机,电机带动主动轮逆时针转动,主动轮分别带动第三从动轮顺时针转动、第四从动轮逆时针转动,第三从动轮带动第一从动轮逆时针转动,第一从动轮带动成品传送皮带逆时针转动,第四从动轮带动第四从动轮顺时针转动,第四从动轮带动第五从动轮逆时针运动,第五从动轮带动第二从动轮顺时针转动,第二从动轮带动废品传送皮带顺时针转动。工作人员将挑选出来的成品晶片推落至成品传送皮带上,通过成品传送皮带传送至晶片收集装置中,将废品晶片推落至废品传送皮带上,通过废品传送皮带将晶片传送至废品收集箱中。
该装置结构简单,分选操作方便,节省了人员和成本,大大提高了分选效率,减少了后续操作步骤,工作效率比之前提高了2倍以上,挑选平台上铺设一层黑色玻璃,所述的黑色玻璃下表面贴有一层玻璃贴纸,有效的起到了保护作用,防止当玻璃破碎后碎片对操作人员和晶片造成伤害,成品传送皮带与废品传送皮带上包覆一层缓冲层,能够有效防止落入其上的晶片受到损伤,大大降低了废品的二次产生的可能性。
附图说明
图1为本发明的剖视图
图2为本发明的俯视图
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造