[发明专利]大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置

权利要求书

1.一种大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，其特征在于：它包括气浮框架（30）、X轴直线单元（31）、步进电机（32）、X轴导轨连接板（10）、Y轴导轨托盘（33）、Y轴直线单元（12）、Y轴导轨连接板（14）及两组柔性铰链（3）；所述X轴直线单元（31）固定在精密平台上表面，所述X轴导轨连接板（10）固定在X轴直线单元（31）的运动部件上；步进电机（32）驱动X轴直线单元（31）的运动部件做直线运动；所述Y轴导轨连接板（14）固定在Y轴直线单元（12）的运动部件上；Y轴直线单元（12）固定在Y轴导轨托盘（33）中，Y轴导轨托盘（33）一端面与X轴导轨连接板（10）的一侧面定位并连接，Y轴导轨托盘（33）另一端为气浮端，Y轴直线单元（12）的运动轴线与X轴直线单元（31）的运动轴线在X、Y平面的投影垂直；所述气浮框架（30）设置在精密平台上表面，且气浮框架（30）的一侧面通过两组柔性铰链（3）与Y轴导轨连接板（14）的一侧面连接，气浮框架（30）的X向对称面与Y轴直线单元（12）的运动轴线垂直。

2.根据权利要求1所述大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，其特征在于：所述Y轴导轨托盘（33）一端面与X轴导轨连接板（10）的一侧面通过两个圆柱销（2）定位，并通过螺纹连接件连接。

3.根据权利要求1所述大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，其特征在于：所述气浮框架（30）包括晶体框（1）、两个压紧块（6）、两个定位螺钉一（8）、两个定位螺钉二（7）、两个锁紧块（9）、两个定位块（15）、五个连接耳（20）、三个球铰螺柱一（13）及三个气浮垫一（11）；所述晶体框（1）为水平设置的矩形框，两组柔性铰链（3）与晶体框（1）的同一任意外侧面固接，晶体框（1）的其余三个外侧面上固定有五个连接耳（20），晶体框（1）的其中两个相对内侧面各固定有一个定位块（15），两个定位块（15）上分别设有一定位面（15-1），两个定位面（15-1）设置在同一竖直面内，大口径光学元件（40）整体放置在晶体框（1）内部，并通过所述两个定位块（15）的两个定位面（15-1）定位；晶体框（1）内与每个定位块（15）的相同侧设置有一个锁紧块（9），两个锁紧块（9）与晶体框（1）固接，两个锁紧块（9）相对设置，锁紧块（9）内与所述定位面（15-1）相垂直方向设有螺孔一，定位螺钉一（8）旋入锁紧块（9）的螺孔一内，大口径光学元件（40）预夹紧固定于两个定位螺钉一（8）及两个定位块（15）之间；晶体框（1）内位于每个定位块（15）的同侧设置有一个压紧块（6），压紧块（6）与晶体框（1）固接，每个压紧块（6）上沿竖向设有螺孔二，定位螺钉二（7）旋入螺纹孔二内并抵靠在晶体框（1）上，大口径光学元件（40）通过压紧块（6）竖向压紧固定；三个球铰螺柱一（13）与五个连接耳（20）中的任意三个连接耳（20）固接，每个球铰螺柱一（13）的球端与相对应的气浮垫一（11）上端面球窝接触。

4.根据权利要求3所述大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，其特征在于：所述五个连接耳（20）在晶体框（1）的所述其余三个外侧面上的分布方式如下：晶体框（1）上与固定有两组柔性铰链（3）一侧相对应侧的外侧面固接有一个连接耳（20），晶体框（1）上与固定有两组柔性铰链（3）一侧相垂直的每个外侧面固接有两个连接耳（20）。

5.根据权利要求3所述大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，其特征在于：所述五个连接耳（20）在晶体框（1）的所述其余三个外侧面上的分布方式如下：晶体框（1）上与固定有两组柔性铰链（3）一侧相垂直的两个外侧面的其中一外侧面固接有两个连接耳（20），晶体框（1）上与固定有两组柔性铰链（3）一侧相垂直的两个外侧面的另一外侧面固接有一个连接耳（20）。

6.根据权利要求3所述大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，其特征在于：每组柔性铰链（3）包括两个铰链座（3-1）和两个簧片（3-2）；所述两个铰链座（3-1）并列设置，两个铰链座（3-1）之间并列设置有两个簧片（3-2）；两个铰链座（3-1）与两个簧片（3-2）固接，每组柔性铰链（3）的其中一个铰链座（3-1）与晶体框（1）的所述同一任意外侧面固接。

7.根据权利要求1或3所述大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，其特征在于：所述气浮框架（30）由硬铝合金材料制成。