[发明专利]探针膜厚测量机坐标补正方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及膜厚测量技术，更具体地说，涉及一种探针膜厚测量机坐标补正方法及装置。

背景技术

探针膜厚测量机（Surface Profile/Step Height）是一种机械式接触量测设备，最核心部件为探针测定机构，在TFT-LCD行业中，一般用来量测TFT或彩色滤色片的膜厚值。因待量测物一般为100μm级别，所以对设备探针的坐标定位精度要求很高需要其达到20μm以内。

而现有的探针膜厚测量机在进行测量前，需要确定两个坐标：机械坐标位置，即量测头和探针的位置；另一个坐标为产品坐标位置，即放置在检测平台上的待测物体，例如TFT或彩色滤色片的目标位置。要实现准确测量产品坐标位置需要先保证机械坐标位置的正确，否则通过测量头和探针获取的测量数据必然存在误差。

而在实际使用过程中，上述的机械坐标位置很容易发生偏移，例如：编码器在跳电时易造成数据流失，而失去原坐标的位置，即有可能造成设备机械坐标偏移；对探针进行保养擦拭或更换时，因需要利用手动方式操作，因此会造成探针位置偏移，且无法完全回复至原始位置；量测头损坏更换后，亦会造成整体量测机构偏移，无法完全回复至原始位置；人为误操作导致量测头、探针被撞击，无法完全回复至原始位置。目前的处理方法为，若发现因为机械坐标偏差导致量测异常，则需人员手动重新调整所有点位的量测坐标，浪费时间和人力，且因人员能力、手法差异，带来调整偏差的问题。

发明内容

本发明的目的在于，针对现有的探针膜厚测量机的机械坐标位置发生偏移时手动重新调整的工作量大，调整的质量无法保证一致的缺陷，提供一种能够快速进行、调整准确的探针膜厚测量机坐标补正方法及装置。

本发明所提供的探针膜厚测量机坐标补正方法，包括以下步骤：

S1、在探针膜厚测量机的基座上固定定位补正片，定位补正片位于产品检测区域之外；

S2、移动探针至定位补正片，记录探针位置为第一坐标；

S3、按照第一坐标驱动探针，记录驱动探针后的位置为第二坐标；

S4、记录第二坐标相对于定位补正片的偏差值为校正偏移值；

S5、按照校正偏移值补正用于移动探针的坐标，再按照补正后的坐标移动探针。

本发明的探针膜厚测量机坐标补正方法，其中步骤S1还包括在基座上开设两个凹槽，所述凹槽位于产品检测区域两个相对的顶角上；在所述凹槽内嵌入与凹槽形状相匹配的定位补正片。

本发明的探针膜厚测量机坐标补正方法，所述定位补正片为边长2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位准星。

本发明的探针膜厚测量机坐标补正方法，S4还包括当校正偏移值大于设定阈值时，停止探针移动并发出警报。

本发明的探针膜厚测量机坐标补正方法，其中步骤S2包括移动探针至多个定位补正片上，分别记录每个定位补正片对应的第一坐标；步骤S4包括记录每个第二坐标相对定位补正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值为校正偏移值。

本发明所提供的探针膜厚测量机坐标补正装置，包括：

固定设置在探针膜厚测量机的基座上的定位补正片，所述定位补正片位于产品检测区域之外；

与所述探针膜厚测量机连接的第一坐标记录器，用于在探针移动至定位补正片后，记录探针位置为第一坐标；

与所述探针膜厚测量机连接的第二坐标记录器，用于在探针按照第一坐标驱动后，记录驱动探针后的位置为第二坐标；

与所述探针膜厚测量机连接的校正偏移获取器，用于记录第二坐标相对于定位补正片的偏差值为校正偏移值；

按照校正偏移值补正用于移动探针的坐标，再按照补正后的坐标移动探针。

本发明的探针膜厚测量机坐标补正装置，基座上开设两个凹槽，所述凹槽位于产品检测区域两个相对的顶角上；在所述凹槽内嵌入与凹槽形状相匹配的定位补正片。

本发明的探针膜厚测量机坐标补正装置，所述定位补正片为边长2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位准星。

本发明的探针膜厚测量机坐标补正装置，还包括报警器，所述报警器在校正偏移值大于设定阈值时，停止探针移动并发出警报。

本发明的探针膜厚测量机坐标补正装置，所述基座上包括多个定位补正片，探针移动至每个定位补正片上，第一坐标记录器分别记录每个探针对应的第一坐标；第二坐标记录器记录探针按照每个第一坐标移动后的位置为第二坐标；校正偏移获取器记录每个第二坐标相对定位补正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值为校正偏移值。