[发明专利]一种电子元件检测设备及其检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种电子元件检测设备及其检测方法，尤指一种适用于测试积体电路良窳的检测设备与检测方法。

背景技术

随着半导体制造产业蓬勃发展的需求，除了追求制造设备的产能效率外，半导体测试设备厂商也极力地朝向提升测试效率的趋势发展。然而，半导体测试设备制造商于提升测试效率的目标下，不外乎通过包括缩短测试时间、减少闲置时间、以及减少晶片的移载次数或移载时间等手段来进行调整。

再者，上述众多因素中唯一最难以调控的大概就是测试时间的长短，因为测试时间关乎于测试的项目以及测试的流程。然而，一旦测试的项目、以及测试的流程经确定后，测试时间几乎也无可调整了。因此，半导体测试设备厂商大多朝向减少测试装置的闲置时间、以及减少晶片的移载次数或移载时间等方向着手改良。

举例而言，例如中华民国公告第I372135号「电子元件测试分类机的测试装置」一案所载，其主要目的也是为了缩短测试装置闲置的等待时间。其中，该发明专利主要是因针对测试时间较短的电子元件，其通过增加每次移载的数量，来减少测试站待机时间，进而增加机器产能利用率。

然而，当针对测试时间较长的测试方式时，如系统级测试(SYSTEM LEVEL TEST)，而上述发明专利所载的技术手段则无法适用，一旦采用上述技术则反而会造成晶片取放装置、以及移载装置闲置的等待时间过长，严重影响产能利用率。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种电子元件检测设备及其检测方法，其适用于测试时间较长的电子元件，能显著减少包括测试装置、取放装置、以及移载梭车的闲置等待时间，进而有效提升产能效率。

为达成上述目的，本发明一种电子元件检测方法，包括以下步骤：首先，一移载梭车移动使一移载梭车的一进料承置部位于一进料区内，一进料取放装置自一进料承载盘搬运至少一待测电子元件至一移载梭车的一进料承置部，且移载梭车的出料承置部位于一测试区内，至少一取放臂将一检测装置上的至少一测完电子元件搬至出料承置部上；接着，移载梭车移动，使移载梭车的出料承置部移入一出料区内，一出料取放装置自出料承置部搬出至少一测完电子元件至一出料承载盘；再者，移载梭车移动使进料承置部移入进料区内，进料取放装置自进料承载盘搬运至少一待测电子元件而填满进料承置部；接着，移载梭车移动使出料承置部移入出料区内，出料取放装置搬出至少一测完电子元件而清空出料承置部；以及，进料承置部位于测试区内，至少一取放臂将进料承置部上全部的待测电子元件搬运至检测装置进行测试。

据此，本发明的移载梭车利用进料、出料取放装置于每次搬运过程的时间空档、以及检测装置上进行检测的时间空档，往返于进料区、测试区、及出料区间，进行多批次装填或清空电子元件，可充分利用并大幅降低进料、出料取放装置、以及取放臂的闲置等待时间，进而显着提升产能之测试效率。此外，本发明一种电子元件检测方法可通过多批次的搬运待测、或测完电子元件，以因应需较长测试时间的检测态样，进而减少设备需求，降低设备成本。

较佳的是，本发明一种电子元件检测方法的进料承置部所承载的待测电子元件数量、及出料承置部所承载的测完电子元件数量可分别为进料取放装置、及出料取放装置所搬运的电子元件数量的倍数。换言之，进料取放装置可分批次搬运填满进料承置部，且出料取放装置可分批次搬运清空出料承置部中的电子元件，进而减少设备需求，降低设备成本。

另外，本发明一种电子元件检测方法可使用二取放臂，其可包括一第一取放臂、及一第二取放臂；其中，第一取放臂、及第二取放臂交替执行将进料承置部上全部的待测电子元件搬运至一检测装置进行测试、以及将检测装置上的至少一测完电子元件搬至出料承置部上。此外，在本发明所提供的电子元件检测方法中，当第一取放臂执行将进料承置部上全部的待测电子元件搬运至一检测装置进行测试时，该第二取放臂则执行将检测装置上的至少一测完电子元件搬至出料承置部上。据此，本发明可设置多个取放臂，以提高测试效率，减少等待移载电子元件的闲置时间。