[发明专利]一种低损耗极紫外光传输系统

权利要求书

1.一种低损耗极紫外光传输系统，其特征在于：

包括超环面镜、光栅；

所述超环面镜为非球面掠入射型超环面镜；光栅为掠入射型凹面聚焦光栅；

超环面镜的入射光为极紫外光，入射光的光源位于超环面镜物点处；

所述入射光经过超环面镜聚焦后为聚焦光，该聚焦光再入射至光栅，经过光栅衍射后，成为衍射光，最后该衍射光均聚焦在光谱面上，该光谱面为平面；

所述光栅位于超环面镜聚焦点和光谱面之间；光栅表面设有光栅线；光栅线密度的分布满足如下公式关系：

d(w)＝d₀+d₁w+d₂w²+d₃w³，

其中，w为每条光栅线的中点距离光栅中心法线的距离；d₀为光栅线密度，d₀＝1190～1210l/mm；d₁＝-3.646～-3.446mm^-2，d₂＝8.556～8.756×10^-3mm^-3，d₃＝-2.309～-2.109×10^-5mm^-4。

2.根据权利要求1所述的低损耗极紫外光传输系统，其特征在于：

所述入射光、聚焦光和衍射光均位于同一平面；

超环面镜触光面横向方向上的面为横向面，纵向方向上的面为纵向面；

横向面的曲率半径R_h＝3225～3235mm，纵向面的曲率半径Rv＝89.5～91.5mm；

入射光经过超环面镜聚焦后，产生横向面聚焦点和纵向面聚焦点，所述横向面聚焦点和纵向面聚焦点均与超环面镜聚焦点重合；

超环面镜物点与超环面镜中心之间的距离为r；聚焦点与超环面镜中心之间的距离为r′；

入射光与超环面镜中心法线之间的夹角为80.4°，且r和r′满足如下公式关系，1r+1r′=1270.]]>

3.根据权利要求2所述的低损耗极紫外光传输系统，其特征在于：所述横向面的曲率半径R_h＝3230mm，纵向面的曲率半径Rv＝90.5mm。

4.根据权利要求3所述的低损耗极紫外光传输系统，其特征在于：所述r＝r′。

5.根据权利要求4所述的低损耗极紫外光传输系统，其特征在于：所述r＝r′540mm。

6.根据权利要求5所述的低损耗极紫外光传输系统，其特征在于：所述超环面镜为镀金超环面镜。

7.根据权利要求6所述的低损耗极紫外光传输系统，其特征在于：所述超环面镜中心法线与水平面平行。

8.根据权利要求1至7任一权利要求所述的低损耗极紫外光传输系统，其特征在于：

所述d₀＝1200l/mm，d₁＝-3.546mm^-2，d₂＝8.656×10^-3mm^-3，d₃＝-2.209×10^-5mm^-4。