[发明专利]彩色滤色片膜厚测量方法及装置有效
| 申请号: | 201310740245.3 | 申请日: | 2013-12-27 |
| 公开(公告)号: | CN103727888A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
| 发明(设计)人: | 黄文德 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
| 代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人: | 蔡晓红 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 彩色 滤色片膜厚 测量方法 装置 | ||
1.一种彩色滤色片膜厚测量方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、使用彩色摄像机拍摄彩色滤色片,获取彩色滤色片的彩色图像;
S2、对采集到的彩色图像进行色阶匹配,识别出彩色图像中的各个具有不同颜色的颜色区域以及背景区域;
S3、分别测量每个颜色区域以及背景区域的膜厚;其中,每个颜色区域的膜厚测量方法为:首先确定每个颜色区域的中心点的位置,然后测量该颜色区域的中心点处的膜厚,并将在该颜色区域的中心点处相对于背景区域的高度记录为该颜色区域的膜厚。
2.根据权利要求1所述的彩色滤色片膜厚测量方法,其特征在于,所述步骤S3还包括:设置带有准星的检测框,移动所述检测框至所述颜色区域上,使准星处于颜色区域的中心区域内。
3.根据权利要求2所述的彩色滤色片膜厚测量方法,其特征在于,所述步骤S3还包括:在所述检测框的准星上设置直径为20微米至40微米的识别圈,当所述识别圈处于待检测的颜色区域内时,确定所述准星处于颜色区域的中心区域内。
4.根据权利要求3所述的彩色滤色片膜厚测量方法,其特征在于,所述步骤S3还包括:在所述检测框的外侧设置用于检测背景区域的背景检测框,使用该背景检测框确定需要检测膜厚的背景区域位置。
5.根据权利要求4所述的彩色滤色片膜厚测量方法,其特征在于,所述步骤S3还包括,使用白光干涉法测量所述识别圈之内对应的彩色滤色片的膜厚和背景检测框之内对应的彩色滤色片的膜厚。
6.一种彩色滤色片膜厚测量装置,其特征在于,包括:
彩色摄像机,用于拍摄彩色滤色片,获取彩色滤色片的彩色图像;
与彩色摄像机相连的色阶识别组件,用于对采集到的彩色图像进行色阶匹配,识别出彩色图像中的各个具有不同颜色的颜色区域以及背景区域;
与色阶识别组件相连的定位识别组件,用于定位测量到每一种颜色区域的中心;
与定位识别组件相连的膜厚测量组件,用于对一种颜色区域的中心膜厚和背景区域的膜厚进行测量,并将在该颜色区域的中心点处相对于背景区域的高度记录为该颜色区域的膜厚。
7.根据权利要求6所述的彩色滤色片膜厚测量装置,其特征在于,所述定位测量组件包括带有准星的检测框,定位测量组件移动所述检测框至所述颜色区域上,使准星处于颜色区域的中心区域内。
8.根据权利要求7所述的彩色滤色片膜厚测量装置,其特征在于,所述检测框的准星上设置直径为20微米至40微米的识别圈,当所述识别圈处于待检测的颜色区域内时,确定所述准星处于颜色区域的中心区域内。
9.根据权利要求8所述的彩色滤色片膜厚测量装置,其特征在于,所述检测框的外侧设有用于检测背景区域的背景检测框,所述背景检测框用于确定需要检测膜厚的背景区域位置。
10.根据权利要求9所述的彩色滤色片膜厚测量装置,其特征在于,所述膜厚测量组件为白光干涉仪,所述白光干涉仪测量所述识别圈之内对应的彩色滤色片的膜厚和背景检测框之内对应的彩色滤色片的膜厚。
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