[发明专利]彩色银制品的制备方法

权利要求书

1.一种彩色银制品的制备方法，其特征在于，在真空腔中，利用自限式化学气相沉积的方法在银制品上交替沉积高折射率氧化锌膜层和低折射率的氧化铝膜层，合理调控各个膜层厚度，使其发生光学干涉，形成彩色的防护涂层；

所述的氧化锌的自限式化学气相沉积是指：将真空腔加热到100～200℃的温度范围，真空抽至20hPa以下后，先通入二乙基锌前驱体脉冲0.1s以上，保证二乙基锌以化学饱和吸附方式吸附在银制品表面，高纯氮气清洗3s以上，保证多余前驱体被抽走；然后通入水前驱体0.1s以上，保证水和之前吸附的银制品表面的二乙基锌进行化学反应得到氧化锌膜，高纯氮气清洗4s以上，保证未反应水分子和副产物被清除；

所述的氧化铝的自限式化学气相沉积是指：将真空腔加热到100～200℃的温度范围，真空抽至20hPa以下后，先通入三甲基铝前驱体脉冲0.1s以上，保证三甲基铝以化学饱和吸附方式吸附在银制品表面，高纯氮气清洗3s以上，保证多余前驱体被抽走；然后通入水前驱体0.1s以上，保证水和之前吸附的银制品表面的三甲基铝进行化学反应得到氧化铝膜，高纯氮气清洗4s以上，保证未反应水分子和副产物被清除。

2.根据权利要求1所述彩色银制品的制备方法，其特征在于，所要沉积的银制品须依次经过丙酮、无水乙醇和去离子水的超声波清洗，并且真空干燥保持银制品的表面清洁。

3.根据权利要求1所述的一种彩色银制品的制备方法，其特征在于，将前驱体二乙基锌通入至少为0.1s的脉冲时间，清洗脉冲时间至少为3s；通入水蒸汽脉冲至少为0.1s，清洗脉冲时间至少为4s，这样完成一个循环的氧化锌的沉积，沉积氧化锌的循环数量视氧化锌薄膜的厚度而定，0.2nm/循环；将前驱体三甲基铝通入至少为0.1s的脉冲时间，清洗脉冲时间至少为3s；通入水蒸汽脉冲至少为0.1s，清洗脉冲时间至少为4s，这样完成一个循环的氧化铝的沉积，沉积氧化铝的循环数量视氧化铝薄膜的厚度而定，0.2nm/循环。

4.根据权利要求1所述彩色银制品的制备方法，其特征在于，交替沉积高折射率氧化锌膜和低折射率的氧化铝膜，得到ZnO/Al₂O₃/ZnO或ZnO/Al₂O₃/ZnO/Al₂O₃/ZnO这样三层或五层结构的多层膜；同时每层氧化锌膜的厚度为氧化锌的四分之一参考波长光学厚度，每层氧化铝膜的厚度为氧化铝的四分之一参考波长光学厚度。

5.根据权利要求4所述彩色银制品的制备方法，其特征在于，所述参考波长为从紫外，可见光到近红外范围任意波长。