[发明专利]材料单一气体放气率的测试装置及方法

权利要求书

1.一种材料单一气体放气率的测试装置，其特征在于，包括：

第一真空室；

第一测试室和第二测试室，相对于所述第一真空室对称的设置，并分别与所述第一真空室连通；

第二真空室，通过具有第一阀门的第一线路和所述第一测试室连接，所述第二真空室还通过具有第二阀门的第二线路和所述第二测试室连接；

第一质谱仪和第二质谱仪，分别连通所述第一真空室和第一测试室。

2.根据权利要求1所述的材料单一气体放气率的测试装置，其特征在于，

所述第一真空室和所述第二真空室都具有排气口，所述排气口与抽气泵连接。

3.根据权利要求1所述的材料单一气体放气率的测试装置，其特征在于，

所述第一测试室与所述第一真空室连通的第一连通孔、所述第二测试室与所述第一真空室连通的第二连通孔，直径相同，为5-10毫米。

4.根据权利要求1所述的材料单一气体放气率的测试装置，其特征在于，

在所述第一真空室和所述第二真空室上，还分别连通有第一压力计和第二压力计，分别测量所述第一真空室内和所述第二真空室内的压力。

5.一种基于权利要求1-4中任意一项所述材料单一气体放气率的测试装置的材料单一气体放气率的测试方法，其特征在于，包括：

将待测材料放入所述第二真空室，然后分别将第一真空室和第二真空室抽真空；

打开第一阀门，关闭第二阀门，通过第一质谱仪和第二质谱仪记录第一测试室内各气体的第一压强P_1n和第一真空室内各气体的第二压强P_2n；

关闭第一阀门，打开第二阀门，通过第一质谱仪和第二质谱仪记录第一测试室内各气体的第三压强P_1n’和第一真空室内各气体的第四压强P_2n’；

取出放入所述第二真空室内的所述待测材料，将第一真空室和第二真空室抽真空；

打开第一阀门，关闭第二阀门，通过第一质谱仪和第二质谱仪记录第一测试室内各气体的第五压强P_1n”和第一真空室内各气体的第六压强P_2n”；

关闭第一阀门，打开第二阀门，通过第一质谱仪和第二质谱仪记录第一测试室内各气体的第七压强P_1n’”和第一真空室内各气体的第八压强P_2n’”；

根据下式计算各气体放气率q_1n；

所述放气率与所述第一质谱仪和第二质谱仪测量数据之间的关系为：

q1n=Cn[(P1n-P1n′)-(P1n′′-P1n′′′)]S]]>

其中，C_n为各气体经过所述第一测试室与所述第一真空室连通的第一连通孔时的流导值；S为待测材料的表面积。