[发明专利]氮化物半导体发光器件有效

专利信息
申请号: 201310721515.6 申请日: 2013-12-24
公开(公告)号: CN103730555A 公开(公告)日: 2014-04-16
发明(设计)人: 董木森;申利莹;刘晓峰;张东炎;张洁;王笃祥 申请(专利权)人: 天津三安光电有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300384 天津市*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 氮化物 半导体 发光 器件
【权利要求书】:

1.氮化物半导体发光器件,包含:

衬底,由氮化物半导体分别形成的n型层、发光层和p型层依次叠层于所述衬底之上;

其特征在于:还包括电流扩展层,其具有至少由两层u型氮化物半导体层叠层而成的多层结构,在所述各u型氮化物半导体层之间的界面处形成n型掺杂,其掺杂浓度大于或等于1×1018cm-3

2.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述电流扩展层的厚度为100~20000 nm。

3.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述电流扩展层具有2~200层u型氮化物半导体层。

4.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层的厚度为1~100 nm。

5.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处形成n型掺杂的厚度≤2 nm。

6.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度为5×1018 ~ 5×1020 cm-3

7.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度大于所述n型层的掺杂浓度。

8.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度为均匀掺杂。

9.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度呈线性递增或递减。

10.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度呈锯齿、矩形、正弦或阶梯状分布。

11.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:还包括由预定间隔隔开的绝缘部组成的分布绝缘层,其位于所述u型氮化物半导体层叠层而成的多层结构内部或/和所述多层结构与所述n型层之间。

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