[发明专利]氮化物半导体发光器件有效
| 申请号: | 201310721515.6 | 申请日: | 2013-12-24 |
| 公开(公告)号: | CN103730555A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
| 发明(设计)人: | 董木森;申利莹;刘晓峰;张东炎;张洁;王笃祥 | 申请(专利权)人: | 天津三安光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 300384 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 氮化物 半导体 发光 器件 | ||
1.氮化物半导体发光器件,包含:
衬底,由氮化物半导体分别形成的n型层、发光层和p型层依次叠层于所述衬底之上;
其特征在于:还包括电流扩展层,其具有至少由两层u型氮化物半导体层叠层而成的多层结构,在所述各u型氮化物半导体层之间的界面处形成n型掺杂,其掺杂浓度大于或等于1×1018cm-3。
2.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述电流扩展层的厚度为100~20000 nm。
3.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述电流扩展层具有2~200层u型氮化物半导体层。
4.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层的厚度为1~100 nm。
5.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处形成n型掺杂的厚度≤2 nm。
6.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度为5×1018 ~ 5×1020 cm-3。
7.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度大于所述n型层的掺杂浓度。
8.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度为均匀掺杂。
9.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度呈线性递增或递减。
10.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:所述各u型氮化物半导体层之间界面处的n型掺杂浓度呈锯齿、矩形、正弦或阶梯状分布。
11.根据权利要求1所述的氮化物半导体发光器件,其特征在于:还包括由预定间隔隔开的绝缘部组成的分布绝缘层,其位于所述u型氮化物半导体层叠层而成的多层结构内部或/和所述多层结构与所述n型层之间。
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