[发明专利]一种多光谱显微镜多重光照明方法和装置

权利要求书

1.一种多光谱显微镜多重光照明方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）白光光束经扩束匀光处理后得到宽视场照明光，对宽视场照明光进行分光，并通过空间频谱转换和整形后得到均匀复色光；

2）将均匀复色光中不同波长的光进行光谱选择和谱宽调节，得到均匀单色光；

3）把所述的均匀单色光转换为环形照明光，并调节环形照明光的环径后，对样品进行离轴照明。

2.如权利要求1所述的多光谱显微镜多重光照明方法，其特征在于，所述的白光光束依次通过扩束透镜组和双排复眼透镜进行扩束匀光处理。

3.如权利要求1所述的多光谱显微镜多重光照明方法，其特征在于，在步骤1）中，利用光栅对所述的宽视场照明光进行分光，并采用傅里叶透镜进行空间频谱转换和整形。

4.如权利要求1所述的多光谱显微镜多重光照明方法，其特征在于，在步骤2）中，利用一级空间光调制器进行光谱选择和谱宽调节。

5.如权利要求1所述的多光谱显微镜多重光照明方法，其特征在于，在步骤3）中，通过锥镜组将均匀单色光转换为环形照明光，并利用二级空间光调制器改变所述环形照明光的环径。

6.一种多光谱显微镜多重光照明装置，其特征在于，包括沿光路依次布置的白光光源、扩束匀光模块、光谱选择模块和照明调节模块；

所述的扩束匀光模块，用于对白光光源发出的光束进行扩束匀光处理并得到宽视场照明光；

所述的光谱选择模块，用于将宽视场照明光转化为均匀复色光，并对均匀复色光进行光谱选择得到均匀单色光；

所述的照明调节模块，用于将均匀单色光转换为环形照明光，并对环形照明光进行环径调节，所述照明调节模块出射的光束对样品进行离轴照明。

7.如权利要求6所述的多光谱显微镜多重光照明装置，其特征在于，所述的白光光源为汞灯或氙灯。

8.如权利要求6所述的多光谱显微镜多重光照明装置，其特征在于，所述的扩束匀光模块包括沿光路依次布置的扩束透镜组和双排复眼透镜。

9.如权利要求6所述的多光谱显微镜多重光照明装置，其特征在于，所述的光谱选择模块包括沿光路依次布置的光栅、傅里叶透镜和一级空间光调制器。

10.如权利要求6所述的多光谱显微镜多重光照明装置，其特征在于，所述的照明调节模块包括沿光路依次布置的锥镜组、第一成像透镜、二级空间光调制器和第二成像透镜。