[发明专利]原位反应法制备石墨坩埚表面的SiC涂层的方法

权利要求书

1.一种原位反应法制备石墨坩埚表面的SiC涂层的方法，包括如下步骤：

（1）将打磨好的涂层用石墨坩埚埋覆于发热用石墨坩埚内的硅粉中，得预反应物料；

（2）将步骤（1）的预反应物料放置在超音频感应加热炉中，在1300℃下反应60～90min，其中所述超音频感应加热炉中导入惰性气体，使反应在惰性气体保护下进行。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤（1）所述涂层用石墨坩埚的打磨处理方法为：用砂纸打磨涂层用坩埚，砂纸使用顺序依次为200#、600#、1000#、2000#。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤（2）中所述惰性气体的导入速率为0.2～2L/min，所述惰性气体为氩气或氦气。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤（2）的反应过程中，所述超音频感应加热炉的音频频率为26.5～27.0KHZ。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述硅粉的粒径为1～10μm。

6.根据权利要求1～5的任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

①用砂纸打磨涂层用坩埚，直至表面平整，其中砂纸使用顺序依次为200#、600#、1000#、2000#；

②将打磨好的涂层用石墨坩埚埋覆于发热用石墨坩埚内的硅粉中，得预反应物料；

③将步骤②的预反应物料放置在超音频感应加热炉中，用炉盖盖紧发热用石墨坩埚，热电偶插入硅粉中；

④通过设置在炉盖上的导气管，向发热用石墨坩埚中通入惰性气体，接通电源，加热感应线圈，调节感应线圈的功率，使超音频感应加热炉内温度保持在1300℃，保温加热反应60～90min，通过炉盖上的排气孔排去空气以及通入的惰性气体，并降低由于加热过程中炉内气体膨胀所产生的高压；

⑤反应完毕后，关闭电源，停止超音频感应加热炉的加热，发热用石墨坩埚内继续通入惰性气体，使涂层用石墨坩埚在惰性气体保护气氛中冷却，待冷却至室温后，停止通入惰性气体，拔出热电偶，取出涂层用石墨坩埚，得表面为SiC涂层的石墨坩埚。