[发明专利]自动搬送轨道结构及搬送系统在审
| 申请号: | 201310719132.5 | 申请日: | 2013-12-23 |
| 公开(公告)号: | CN103693444A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
| 发明(设计)人: | 计军 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号: | B65G49/07 | 分类号: | B65G49/07 |
| 代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;林彦之 |
| 地址: | 201210 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 自动 轨道 结构 系统 | ||
1.一种自动搬送轨道结构,其特征在于,其包括:多条横向轨道和多条纵向轨道,该纵向轨道包含数条两端连接于两条横向轨道且可沿横向轨道平移的移动轨道。
2.根据权利要求1所述的自动搬送轨道结构,其特征在于:该移动轨道两端连接的是两条相邻的横向轨道。
3.根据权利要求2所述的自动搬送轨道结构,其特征在于:该移动轨道两端与横向轨道通过导轨和滑轮相连。
4.根据权利要求2所述的自动搬送轨道结构,其特征在于:该移动轨道两端与横向轨道通过导轨和弹性钢珠相连。
5.一种自动搬送系统,其特征在于,其包括:
多个机台,呈纵横矩阵状布设,每个机台都具有堆放硅片盒的堆叠部;
权利要求1至4任一项所述的轨道结构,其具有多条横向轨道和多条纵向轨道并悬垂固定于系统空间的顶部,该纵向轨道包含数条两端连接于两条横向轨道且可沿横向轨道平移的移动轨道;
至少一辆输送车,悬挂于于轨道结构上并可沿着横向轨道和纵向轨道行进;以及
控制单元,与该机台、轨道结构和输送车信号连接。
6.根据权利要求5所述的自动搬送系统,其特征在于:该控制单元与移动轨道信号连接。
7.根据权利要求5所述的自动搬送系统,其特征在于:相邻纵向两列机台堆叠部的朝向相反。
8.根据权利要求7所述的自动搬送系统,其特征在于:该移动轨道设置于有两列相邻机台的堆叠部一同所在的机台走道间,并可平移至该两列机台中任一列机台堆叠部的正上方。
9.根据权利要求5所述的自动搬送系统,其特征在于:该横向轨道上对应每列机台堆叠部的位置设置具有直线段和弧线段的轨道切换部。
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