[发明专利]一种回旋式真空扩散泵

权利要求书

1.一种回旋式真空扩散泵，包括泵体、冷却水槽，加热装置与分馏装置，蒸发油腔与多级旋转喷嘴，泵体内部底层有加热装置，其上固定有分馏装置，蒸发油腔位于泵体下部，固定在分馏装置之上，其特征在于：泵体呈纺锤形，蒸发油腔呈锥形，蒸发油腔上方固定有用作输送高温蒸汽和作为多级旋转喷嘴旋转中心轴的连接管道，连接管道与每级旋转喷嘴之间都通过两个圆锥滚子轴承配合，多级喷嘴之间通过行星齿轮机构连接与传动，最上方一级的旋转喷嘴与固定于泵体顶部驱动电机的输出轴连接，由电机驱动带动多级旋转喷嘴旋转。

2.如权利要求1所述的一种回旋式真空扩散泵，其特征在于：所述多级旋转喷嘴分3层，从上至下为一级喷嘴、二级喷嘴和三级喷嘴，呈盘状，为了保证喷射流呈片状且呈指定方向喷射，喷射口必须呈椭圆形，椭圆形喷射口长轴与短轴之比10-20：1，且流道出口切线方向与喷射流设计方向一致，每级喷嘴24个喷射口，且呈同心、均匀分布，且从上层到下层，喷嘴的半径逐渐减小，按7:6:5排列。

3.如权利要求1所述的一种回旋式真空扩散泵，其特征在于：所述的蒸发油腔通过保温层将其分为内外三层，包括蒸发油腔外腔、蒸发油腔中腔、蒸发油腔内腔，并且由外向内容积逐渐减小，按7:5:3排列，从而保证喷射流的速度梯度；保温层两侧由金属板固定，以保证温度的稳定，避免相互干扰。

4.如权利要求1所述的一种回旋式真空扩散泵，其特征在于：所述的多级喷嘴之间通过行星齿轮机构连接与传动指：定齿轮固定于连接管道上，并与相邻的旋转喷嘴相啮合；与相邻的旋转喷嘴构成行星齿轮机构，最上方一级的旋转喷嘴驱动，下方的旋转喷嘴从动，用于速度放大，使喷嘴旋转速度从上至下依次增大且相邻两层喷嘴之间呈相对回旋运动。

5.如权利要求2所述的一种回旋式真空扩散泵，其特征在于：喷射口喷出的喷射流的喷射角度、喷射流速度及盘状喷嘴回旋速度由上至下随层次的延伸而呈现梯度。

6.如权利要求5所述的一种回旋式真空扩散泵，其特征在于：所述喷射流速度从上至下依次升高，范围为160~240m/s，按4:5:6排列；盘状喷嘴的回旋速度从上至下依次增大，转速范围为30r/min~50r/min，按3:4:5排列。

7.如权利要求5所述的一种回旋式真空扩散泵，其特征在于：所述的喷射角度为片状喷射流的几何中心线与喷嘴回旋速度方向的夹角θ₁和片状喷射流的几何中心线与竖直向下方向的夹角θ₂；θ₁范围为100°~120°，θ₂大小从上至下依次降低，范围为30°~ 45°，按6:5:4排列。