[发明专利]一种微型电场传感器结构

权利要求书

1.一种微型电场传感器结构，包括周期性地往复运动的可动感应电极阵列和固定不动的固定感应电极阵列，其特征在于：

可动感应电极阵列包括至少一个可动感应电极单元，通过弹性结构支撑在衬底表面，所述可动感应电极单元包括一个正极性电极和一个负极性电极组成的电极对，分别为正极性可动感应电极和负极性可动感应电极；

固定感应电极阵列包括至少一个固定感应电极单元，通过支撑点固定在衬底表面，所述固定感应电极单元包括一个正极性电极和一个负极性电极组成的电极对，分别为正极性固定感应电极和负极性固定感应电极。

2.如权利要求1所述的微型电场传感器结构，其特征在于，所述固定感应电极单元和可动感应电极单元以梳齿状交叉排布。

3.如权利要求1所述的微型电场传感器结构，其特征在于，所述固定感应电极单元中电极的极性与相邻的所述可动感应电极单元中电极的极性相同。

4.如权利要求1所述的微型电场传感器结构，其特征在于，所述可动感应电极单元中构成电极对的正极性可动感应电极和负极性可动感应电极通过绝缘结构进行机械连接，使正极性可动感应电极和负极性可动感应电极在驱动结构的驱动下能够同步运动，且保持电绝缘。

5.如权利要求1所述的微型电场传感器结构，其特征在于，所述固定感应电极单元中的正极性固定感应电极和负极性固定感应电极的位置固定，并保持电绝缘。

6.如权利要求4所述的微型电场传感器结构，其特征在于，所述绝缘结构位于所述可动感应电极单元中正极性可动感应电极与负极性可动感应电极的上表面，或者位于正极性可动感应电极与负极性可动感应电极之间的侧面。

7.如权利要求1所述的微型电场传感器结构，其特征在于，通过信号处理电路对所述可动感应电极单元中正极性可动感应电极和负极性可动感应电极进行电位钳制，使二者的电位分别保持在固定值；通过信号处理电路对所述固定感应电极单元中正极性固定感应电极和负极性感应电极进行电位钳制，使二者的电位分别保持在固定值。

8.如权利要求4或6所述的微型电场传感器结构，其特征在于，所述绝缘结构为无机材料，以下任意一种：二氧化硅、氮化硅或氮氧化硅；

或者是有机材料，以下任意一种：-聚酰亚胺或苯并环丁烯。

9.如权利要求1所述的微型电场传感器结构，其特征在于，所述可动感应电极单元中的正极性可动感应电极和负极性可动感应电极之间或者固定感应电极单元中的正极性固定感应电极和负极性固定感应电极之间的缝隙全部或部分填充绝缘材料。