[发明专利]一种SRR在扫描成像系统中应用的实验装置无效
| 申请号: | 201310700978.4 | 申请日: | 2013-12-17 |
| 公开(公告)号: | CN103698771A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
| 发明(设计)人: | 吴艳;安博文;赵明;黄庆南;覃金飞;覃永新 | 申请(专利权)人: | 广西科技大学 |
| 主分类号: | G01S17/89 | 分类号: | G01S17/89 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 545006 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 srr 扫描 成像 系统 应用 实验 装置 | ||
1.一种SRR在扫描成像系统中应用的实验装置,其特征在于,该SRR在扫描成像系统中应用的实验装置包括:光学镜头、图像获取电路模块、精密升降台、超精密平移台、电控平移台、图像重建系统;
光学镜头连接用于通过探测器获取图像的图像获取电路模块,电控平移台设置在应用实验装置的最底部,超精密平移台安装在电控平移台上,精密升降台设置在超精密平移台上,图像获取电路模块通过USB接口数据线与用于重建图像的图像重建系统连接。
2.如权利要求1所述的SRR在扫描成像系统中应用的实验装置,其特征在于,光学镜头采用F数1.4,焦距50mm镜头。
3.如权利要求1所述的SRR在扫描成像系统中应用的实验装置,其特征在于,图像获取电路模块的探测器为128线阵CCD;图像获取电路模块包括:128元单列线阵CCD及图像采集模块和数据存储与传输模块。
4.如权利要求1所述的SRR在扫描成像系统中应用的实验装置,其特征在于,设置实现X方向手动微位移成像的TSM25G-1S超精密平移台。
5.如权利要求1所述的SRR在扫描成像系统中应用的实验装置,其特征在于,设置实现Y方向手动微位移成像的TSMV5-1A精密升降台。
6.如权利要求1所述的SRR在扫描成像系统中应用的实验装置,其特征在于,设置实现X方向自动推扫成像的TSA200-A电控平移台。
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