[发明专利]半导体芯片生产设备的机械手传送装置

权利要求书

1.一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，机械手传送装置用于对硅片进行传送，其特征在于，所述机械手传送装置包括：电脑主机、控制器、步进马达放大器、步进马达、直流马达控制电路板、两个直流马达和机械手；

所述电脑主机用于对整个所述机械手传送装置进行控制并下达传送指令，该传送指令控制所述机械手所要移动的位置；

所述控制器和所述电脑主机相连接，所述控制器接收所述传送指令并输出和所述传送指令相对应的第一步数信号；

所述步进马达放大器和所述控制器相连接，所述步进马达放大器接收所述第一步数信号并对所述第一步数信号进行放大从而得到第一步数驱动信号；

所述步进马达接收所述第一步数驱动信号并将所述第一步数驱动信号传送给所述直流马达控制电路板，所述直流马达控制电路板将所述第一步数驱动信号转换为驱动两个所述直流马达转动的直流马达控制信号，所述直流马达控制电路板将所述直流马达控制信号传送给两个所述直流马达并使对应的所述直流马达转动；

两个所述直流马达都和所述机械手相连并分别控制所述机械手的伸缩和转动；

所述步进马达上设置有编码器，所述编码器用于对两个所述直流马达的转动的步数进行编码并得到第二步数反馈信号；

所述步进马达放大器接收所述第二步数反馈信号，所述步进马达放大器比较所述第一步数驱动信号和所述第二步数反馈信号的步数是否相同；如果所述第一步数驱动信号和所述第二步数反馈信号的步数相同，所述直流马达控制电路板继续驱动两个所述直流马达转动；如果所述第一步数驱动信号和所述第二步数反馈信号的步数不相同，所述控制器会切断所述直流马达控制电路板和两个所述直流马达的电源从而使两个所述直流马达停止转动。

2.如权利要求1所述的半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：如果所述第一步数驱动信号和所述第二步数反馈信号的步数不相同，所述步进马达放大器会产生一故障信号并传送到所述控制器，所述控制器的报警指示灯亮起并使所述直流马达停止工作；所述控制器设置有一复位按钮，所述复位按钮按下后所述直流马达恢复工作。

3.如权利要求1所述的半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：所述步进马达包括一刹车装置。

4.如权利要求1所述的半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：半导体芯片生产设备为灰化去胶装置。