[发明专利]一种用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源

权利要求书

1.一种用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源，由射频放电真空紫外光源、离子传输光学系统和离子源腔（1）组成，其特征在于：所述离子传输光学系统放置在离子源腔内，离子源腔上设置连接孔（16），射频放电真空紫外光源的出光口（4）与离子源腔通过设置在离子源腔上的连接孔（16）固定连接；

射频放电真空紫外光源发出的真空紫外光通过设置在电离源腔体上的连接孔（16）进入电离源腔体内，离子传输光学系统由离子推斥电极（6）、离子聚焦电极（7）和差分接口极板（8）组成；沿真空紫外光出射方向依次设置有离子推斥电极（6）、离子聚焦电极（7）和差分接口极板（8），三者同轴、平行设置，相互之间通过绝缘垫隔离；离子推斥电极（6）、离子聚焦电极（7）和差分接口极板（8）中心分别设置通孔，各个电极的通孔同轴放置，紫外光从三个通孔中依次穿过，光轴与各通孔轴线重合；

离子源腔（1）上设置试剂气体进样管（9）和样品气体进样管（10），所述试剂气体进样管（9）穿过电离源腔（1）的外壁伸入在电离源腔（1）内部；所述样品气体进样管（10）穿过电离源腔（1）的外壁伸入在电离源腔（1）内部。

2.根据权利要求1所述的用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源，其特征在于：所述射频放电真空紫外光源包括真空腔（5）、放电电极（2）和两端开口的放电介质管（3），放电电极（2）为两个圆筒形电极，分为第一圆筒电极和第二圆筒电极，第一圆筒电极和第二圆筒电极套设于管状放电介质管（3）外，第一圆筒电极上施加高压射频电压，第二圆筒电极接地；放电介质管（3）的一端为出光口（4），出光口（4）端面以透明材料进行密封，并通过设置在电离源腔体上的连接孔（16）进入电离源腔（1）内；放电介质管（3）另一端与真空腔（5）相连；所述真空腔（5）外壁上设置真空泵（11）和放电气体毛细管（15），放电气体毛细管的一端穿过真空腔进入放电介质管（3）内部，另一端接放电气体瓶。

3.根据权利要求1所述的用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源，其特征在于：所述出光口（4）端面用氟化镁玻璃进行密封。

4.根据权利要求2所述的用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源，其特征在于：所述射频高压放电的第一圆筒电极与接地的第二圆筒电极之间的距离在5-15mm之间。

5.根据权利要求2所述的用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源，其特征在于：所述真空泵（11）为干泵或膜片泵。

6.根据权利要求1-5中任意权利要求所述的用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源，其特征在于：

离子推斥电极（6）和离子聚焦电极（7）之间为试剂离子区，离子聚焦电极（7）和差分接口极板（8）之间为样品离子区，离子推斥电极（6）和差分接口极板（8）间隔的距离为5-40mm。

7.根据权利要求6所述的用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源，其特征在于：所述离子推斥电极（6），离子聚焦电极（7）和差分接口极板（8）按照电压从高到低的顺序，依次加载不同的静电电压，该区域内轴线方向形成大小为1～3V/cm的离子引出电场；距离离子推斥电极（6）最近的圆筒电极与离子推斥电极（7）之间的距离为2-4mm。

8.根据权利要求1所述的用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源，其特征在于：于真空腔（5）侧壁上设置有气体出口，气体出口与真空泵（11）通过阀门（14）连接，于真空腔（5）的另一面腔体上通过真空管路连接有真空规（13）；所述阀门（14）为流量可调真空阀门、真空挡板阀、真空蝶阀或真空针阀中的一种。

9.根据权利要求1所述的用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源，其特征在于：所述试剂气体进样管（9）和样品气体进样管（10）内径分别为Φ50～530μm，长度分别为5～500cm，气体进样流速为0.1～50mL/min，电离源腔（1）内的真空度维持在0.1-200Pa之间。